[发明专利]一种采用飞秒激光直写技术在无芯光纤上制备M-Z波导结构的方法在审
| 申请号： | 202011410019.5 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112731587A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 祝连庆;郝思源;张雯;娄小平;董明利;何巍;李红 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;C03B37/10;G01D5/353 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 王琦;庞立岩 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 激光 技术 光纤 制备 波导 结构 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于飞秒激光直写技术的制备无芯光纤M-Z波导结构的方法，其特征在于，所述制备无芯光纤M-Z波导结构的方法为：采用无芯光纤玻璃棒，先去除无芯光纤的涂覆层，用酒精清洗后，放置在飞秒激光器加工台上，使用飞秒激光器，将激光聚焦在玻璃棒上，垂直于光纤轴向，通过逐线刻写方式，加工得到M-Z结构。
2.根据权利要求1所述无芯光纤M-Z波导结构的方法，其特征在于，所述无芯光纤玻璃棒的直径为125μm。
3.根据权利要求1所述无芯光纤M-Z波导结构的方法，其特征在于，所述飞秒激光器的规格为：中心波长为800nm，脉冲宽度为50fs。
4.根据权利要求1所述无芯光纤M-Z波导结构的方法，其特征在于，所述飞秒激光器运行的参数为：重复频率为0.5-2KHZ，20×透镜，NA＝0.30，单脉冲能量为10μJ，步长Δy＝2μm。
5.根据权利要求1所述无芯光纤M-Z波导结构的方法，其特征在于，所述M-Z结构为柱形。
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