[发明专利]一种热炉降温结构

权利要求书

1.一种热炉降温结构,其特征在于：包括石英管和防护隔层，防护隔层与石英管外壁形成防护夹层，防护夹层连通有导入管和导出管，导入管、防护夹层以及导出管形成冷却通道，导入管和导出管控制冷却介质的导入和导出，冷却介质在冷却通道的流通降低硅片的温度。

2.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述防护夹层的长度与石英管内腔的长度相配。

3.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述石英管内腔与外部空间连通的一端设为开口端，开口端固设有法兰，法兰与炉门连接，炉门将石英管内腔封闭，石英管内腔的另一端连通有抽气管，抽气管贯穿炉管延伸至外部空间，通过抽气管控制石英管内腔气压。

4.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述冷却介质采用压缩空气、冷却水或常温状态下的空气。

5.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述防护隔层上固设有导入孔和导出孔，防护隔层通过导入孔和导出孔分别与导入管和导出管连接。

6.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述防护隔层的材质采用耐高温的绝缘材料。

7.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述导入管和导出管分别位于防护隔层的两端。

8.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述防护隔层的横截面为圆环形结构。

9.根据权利要求1所述的一种热炉降温结构，其特征在于：所述石英管外侧设有炉管，炉管包括保温层、炉壳，炉管内固设有用于安装石英管的炉膛，保温层和炉壳位于炉膛外侧，保温层位于炉壳和炉膛之间，电炉丝控制炉膛的热场。