[发明专利]用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置

权利要求书

1.一种用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置包括：

底玻璃板、顶玻璃板、设置在底玻璃板和顶玻璃板之间的多级压电陶瓷纳米定位器、以及与多级压电陶瓷纳米定位器中的各级所述压电陶瓷纳米定位器并联的直流调压器；

底玻璃板和顶玻璃板的厚度均为1mm并相互平行；

各级所述压电陶瓷纳米定位器为长×宽×高为：1.5mm×1.5mm×5mm的压电陶瓷件，在90V电压下，最大位移量为3.7μm；

所述直流调压器输入电压为交流220V，最高输出电压为100V；

各级所述压电陶瓷纳米定位器中，至少有一级压电陶瓷纳米定位器粘接在底玻璃板的上方，至少有另外一级压电陶瓷纳米定位器粘接在顶玻璃板的下方；

各级所述压电陶瓷纳米定位器在竖直方向上错开设置。

2.如权利要求1所述的用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，

所述多级压电陶瓷纳米定位器为三级压电陶瓷纳米定位器，

三级压电陶瓷纳米定位器包括：第一级压电陶瓷纳米定位器、第二级压电陶瓷纳米定位器和第三级压电陶瓷纳米定位器，

所述用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置还包括：位于底玻璃板和顶玻璃板之间的第一级框架和第二级框架，第二级框架的结构与第一级框架的结构相同并均为铝或铝合金制成；

第一级框架包括：两个对称设置的L型台阶、以及连接在两个对称设置的L型台阶之间的平台；L型台阶分为相互连接的水平部和竖直部，其中平台连接在两个L型台阶的竖直部之间，各所述水平部均与平台平行并位于平台之下，并且均向平台之外延伸，第二级框架位于第一级框架的上方并且与第一级框架平行；

第一级压电陶瓷纳米定位器的底部粘接在底玻璃板上，第一级压电陶瓷纳米定位器的顶部支撑在第一级框架的平台的下方；

第二级压电陶瓷纳米定位器的顶部粘接在顶玻璃板上，第二级压电陶瓷纳米定位器的底部支撑在第二级框架的L型台阶的水平部之上；

第三级压电陶瓷纳米定位器的顶部粘接在第二级框架的平台的下方，第三级压电陶瓷纳米定位器的底部支撑在第一级框架的L型台阶的水平部之上。

3.如权利要求1所述的用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，

所述多级压电陶瓷纳米定位器为二级压电陶瓷纳米定位器，

二级压电陶瓷纳米定位器包括：第一级压电陶瓷纳米定位器和第二级压电陶瓷纳米定位器；

所述用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置还包括：位于底玻璃板和顶玻璃板之间的第一级框架；

第一级框架包括：两个对称设置的L型台阶、以及连接在两个对称设置的L型台阶之间的平台；L型台阶分为相互连接的水平部和竖直部，其中平台连接在两个L型台阶的竖直部之间，各所述水平部均与平台平行并位于平台之下，并且均向平台之外延伸；第一级框架为铝或铝合金制成；

第一级压电陶瓷纳米定位器的底部粘接在底玻璃板上，第一级压电陶瓷纳米定位器的顶部通过粘接支撑在第一级框架的平台的下方；

第二级压电陶瓷纳米定位器的顶部粘接在顶玻璃板上，第二级压电陶瓷纳米定位器的底部通过粘接支撑在第一级框架的L型台阶的水平部之上。

4.如权利要求1或2所述的用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，

第一级框架的L型台阶与第二级框架的L型台阶的尺寸相同，第一级框架的平台的长度小于第二级框架的平台的长度。

5.如权利要求4所述的用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，

第二级压电陶瓷纳米定位器与第一级框架的L型台阶的竖直部的高度差大于0，小于或等于2mm。

6.如权利要求4所述的用于高压釜内的多级微米位移垂向调整装置，其特征在于，

各级所述压电陶瓷纳米定位器的数目为四个，四个压电陶瓷纳米定位器分别位于矩形的四个角点。