[发明专利]一种石英制品抽真空设备

权利要求书

1.一种石英制品抽真空设备，其特征是，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口；所述产品密封组件包括内部设置有密封腔的密封块，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨，所述滑轨上设置有电磁铁组件和滑移块，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部与滑移块连接，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条；所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中；

其中，所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽，所述密封槽内设置有密封圈；

其中，所述电磁铁组件包括上磁组和下磁组，所述上磁组设置于上密封部远离密封块内侧面的一侧，所述下磁组设置于下密封部远离密封块内侧面的一侧，所述上磁组和下磁组尾部分别设置有延伸至密封块外侧的连接部，所述上磁组底部和下磁组顶部均设置有滑移块，两滑移块之间设置有伸缩杆。

2.根据权利要求1所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述伸缩杆外部套合设置有调节臂，所述调节臂铰接于设备框架。

3.根据权利要求1所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述设备框架上设置有减震组件，所述减震组件包括设置于工作基台与设备框架之间的减震器。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述工作基台上设置有产品检测组件，所述产品检测组件包括设置于石英制品上方的升降触头，所述升降触头上设置有压力传感器；所述设备框架上设置有控制单元，所述压力传感器的数据输出端与控制单元的数据接收端连接。

5.根据权利要求4所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述抽真空组件包括彼此连通的真空泵和真空罐，所述真空罐与石英制品内腔连通，所述真空泵与控制单元连接。

6.根据权利要求5所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述设备框架上设置有泄压阀，所述泄压阀连通于真空罐，所述泄压阀与控制单元连接。