[发明专利]一种特种气体用隔膜阀及其制造方法

说明书

本发明公开了一种特种气体用隔膜阀及其制造方法，该隔膜阀包括阀体机构、阀芯机构和调节组件，阀体机构内设置有流通通道，阀芯机构包括弹簧座、启闭件、阀杆和弹簧部件，以及隔膜片，隔膜片的截面大于启闭件的底部截面，弹簧座通过弹簧部件挤压隔膜片，调节组件包括制动器和手柄，启闭件上下移动以使流通通道的打开或者关闭。该制造方法包括以下步骤：一、阀体机构的焊接成型；二、阀芯组件的焊接与组装；三、阀芯组件、弹簧座、调节组件和阀体机构的组装。本发明设计合理，提高了阀芯组件的密封性，避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，也避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

技术领域

本发明属于阀门技术领域，尤其是涉及一种特种气体用隔膜阀其制造方法。

背景技术

特种气体是指为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体，单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。特种气体被誉为电子工业的“血液”和“粮食”，其纯度、洁净度及稳定性直接影响电子元件的质量。在特种气体输送系统中用于控制开关传输介质的隔膜阀是关键部件，隔膜阀的性能、质量好坏(密封性、洁净性、流通性)直接影响到特种气体的纯度、洁净度以及传输的稳定性。对于很多化学性复杂的有毒害及腐蚀性的特种气体传输介质，隔膜阀的可靠性会关系到系统应用的安全性。目前，特种气体用隔膜阀密封性能不好，洁净度不高，使用寿命较低，不能满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要和高精密电子元件制造的使用要求。

因此，现如今缺少一种特种气体用隔膜阀，设计合理，提高了阀芯组件的密封性，一方面避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，另一方面避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种特种气体用隔膜阀，其计合理，通过隔膜片和启闭件配合，提高了阀芯组件的密封性，一方面避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，另一方面避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种特种气体用隔膜阀，其特征在于：包括阀体机构、设置在阀体机构上的阀芯机构和设置在所述阀芯机构上的调节组件，所述阀体机构内设置有流通通道；

所述阀芯机构包括安装在阀体机构内的阀芯组件和安装在阀芯组件与阀体机构之间的弹簧座，所述弹簧座的顶端伸出所述阀体机构；

所述阀芯组件包括启闭件、安装在启闭件上的阀杆和套设在阀杆上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件之间的隔膜片，所述隔膜片的截面大于所述启闭件的底部截面，所述弹簧座通过所述弹簧部件挤压隔膜片；

所述调节组件包括安装在弹簧座内的制动器和安装在制动器上且与制动器连接的手柄，所述弹簧座伸入阀体机构的部分与阀体机构螺纹连接，所述制动器通过阀杆带动所述启闭件上下移动以使所述流通通道打开或者关闭。

上述的一种特种气体用隔膜阀，其特征在于：所述启闭件包括镶块和与镶块连接的外环，所述外环包括与镶块螺纹连接的连接部和与连接部垂直布设的竖杆部，所述竖杆部伸入阀杆内；

所述隔膜片包括套设在竖杆部上的镍基膜片和钴基膜片，所述钴基膜片的数量为多个，所述镍基膜片和钴基膜片相贴合，所述镍基膜片和钴基膜片的下侧壁均呈劣弧形，所述镍基膜片和钴基膜片的边缘伸出连接部的外侧面，所述钴基膜片的外边缘低于钴基膜片的内边缘，所述镍基膜片的外边缘低于镍基膜片的内边缘。

上述的一种特种气体用隔膜阀，其特征在于：所述弹簧部件包括套设在阀杆上的弹簧、套设在阀杆下端且与弹簧的一端连接的压紧环和套设在阀杆上端且与弹簧的另一端连接的上限位件；

所述上限位件包括套设在阀杆外的垫块和轴用挡圈，所述垫块和弹簧的另一端连接，所述轴用挡圈和垫块相贴合。