[发明专利]一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，包括真空腔体和纤维传动装置，所述真空腔体包括中间中空腔(1)、放卷腔(2)、收卷腔(3)，所述中间中空腔(1)为管状结构，且中间中空腔(1)的两端固定连接在放卷腔(2)和收卷腔(3)上，所述中间中空腔(1)的内部设置有内加热管(101)，所述内加热管(101)的两端穿过中间中空腔(1)分别设置在放卷腔(2)和收卷腔(3)的内部，所述内加热管(101)与放卷腔(2)相接触位置设置有绝缘密封圈，且在绝缘密封圈的侧面上设置有电极，所述电极经导线与控制器(6)电连接；

所述纤维传动装置包括放卷辊(201)、测速轮一(202)、收卷辊(301)和测速轮二(302)，所述放卷辊(201)与测速轮一(202)设置在放卷腔(2)的内部，所述收卷辊(301)和测速轮二(302)设置在收卷腔(3)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述放卷腔(2)的内部设置有放卷轴，所述放卷轴的一端在放卷腔(2)上同电机输出端连接，所述放卷辊(201)固定设置在放卷轴上，且测速轮一(202)在放卷腔(2)内部位于放卷辊(201)的右上方。

3.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述收卷腔(3)的内部设置有收卷轴，所述收卷轴的一端在收卷腔(3)上同电机输出端连接，所述收卷辊(301)固定设置在收卷轴上，且测速轮二(302)在收卷腔(3)内部位于收卷辊(301)的左上方。

4.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述中间中空腔(1)为石英管。

5.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述内加热管(101)由石墨材质制成，且在内加热管(101)的内部设置有热电偶。

6.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述放卷腔(2)的一侧固定设置有气体供给装置(4)，所述气体供给装置(4)的输出端通过管道与放卷腔(2)连接，且在该管道上设置有气体流量控制计。

7.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述收卷腔(3)的一侧固定设置有真空泵组(5)，所述真空泵组(5)的输入端通过管道与收卷腔(3)固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，所述控制器(6)与测速轮一(202)、测速轮二(302)及气体供给装置(4)电性连接。

9.根据权利要求1所述的一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，其特征在于，该内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备的工作步骤为：将复合纤维材料绕于放卷辊(201)上，经过测速轮一(202)后，穿过内加热管(101)，经过测速轮二(302)后，收于收卷辊(301)上，控制器(6)控制内加热管(101)的温度，电流经过内加热管(101)后，产生焦耳热对穿过的复合纤维材料加热，同时气体供给装置(4)经高压气罐向放卷腔(2)内通入氨气、氯化硼、氢气三路气体，并通过气体流量控制计来控制通入气体量，使混合气体进入放卷腔(2)后，再经过内加热管(101)，导入收卷腔(3)，在收卷腔(3)内被真空泵组(5)抽走排出。