[发明专利]一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置

权利要求书

1.一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，包括依次布设的光源(1)、聚焦透镜(2)、样品(4)和分光棱镜(5)，光源(1)发出的光经聚焦透镜(2)后形成聚焦光束，与样品(4)作用后，经分光棱镜(5)分成透射、反射两部分，在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放置有第一CCD(6-1)和第二CCD(6-2)，其中，第一CCD(6-1)放置于聚焦点前方，第二CCD(6-2)放置于聚焦点后方，所述的样品(4)放置在位移台(3)上，所述的位移台(3)每次移动时，第一CCD(6-1)和第二CCD(6-2)能够同时获得含有不同离焦量的图像，将记录的图像信息代入到光强传输方程获得记录平面的复振幅信息，利用该信息构建待测物的初始猜测值：其中，P₀(r)为未放待测样品获得的初始探针复振幅，P₀*(r)为P₀(r)的共轭函数，Φ_obj(r,s_j)为物平面复振幅，r为物平面坐标，s_j为第j个衍射光斑的位置。

2.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第一CCD(6-1)到聚焦点的距离小于等于1mm。

3.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第二CCD(6-2)到聚焦点的距离小于等于100mm。

4.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第一CCD(6-1)及第二CCD(6-2)与分光棱镜(5)的距离差在(0,100mm)之间。

5.根据权利要求1或4所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第一CCD(6-1)和第二CCD(6-2)采用两个型号相 同、离焦量不同的CCD。

6.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的样品(4)和分光棱镜(5)均位于聚焦点前方。