[发明专利]用于真空镀膜设备的异向蒸发装置及方法

权利要求书

1.用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有镀膜材料放置槽，镀膜材料放置槽上部设有开口，蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通，导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面，导流通道朝向待镀膜面的一端呈扩散状，且扩散面的直径大于或等于工件的宽度。

2.根据权利要求1所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述蒸发材料导流器包括导流管、加热管套、加热器和保温层，导流管、加热管套和保温层由内到外依次设置，加热器埋于保温层中，导流管内为导流通道。

3.根据权利要求2所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述加热器为螺旋状的加热管，加热管环绕于加热管套外周。

4.根据权利要求3所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述加热管的材料为钨金属加热丝。

5.根据权利要求2所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，述保温层的材质为氧化铝晶体纤维棉；所述加热管套的材质为钼片。

6.根据权利要求1所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述导流通道的径向截面呈圆形或矩形，相应地，镀膜材料放置槽的开口呈圆形或矩形。

7.根据权利要求1所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述导流通道的轴向截面呈弧形环状，末端开口连接有喇叭状的扩散部。

8.根据权利要求1所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述蒸发源安装于镀膜室内或镀膜室外；

当蒸发源安装于镀膜室内时，通过支架安装于工件一侧或直接安装于镀膜室的内壁上；

当蒸发源安装于镀膜室外时，蒸发材料导流器穿过镀膜室的侧壁进入镀膜室后，末端开口朝向工件的待镀膜面。

9.根据权利要求1所述用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，其特征在于，所述工件采用输送带或传动辊进行输送，蒸发源位于工件的一侧，蒸发材料导流器整体呈拱形，导流通道的末端位于工件上方。

10.用于真空镀膜设备的异向蒸发方法，其特征在于，通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器，蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后，产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向，根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向，从而适应工件的多种不同输送方式。