[发明专利]激光加工设备上料系统及方法在审

专利信息
申请号: 202011418684.9 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN112536539A 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 张男男;何艳;邢鹏展;吴梦晗;常丰吉;梁崑;李华;刘遵明;陈治衡 申请(专利权)人: 长春光华微电子设备工程中心有限公司
主分类号: B23K26/70 分类号: B23K26/70
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 郭婷;高一明
地址: 130102 吉林省长*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 激光 加工 设备 系统 方法
【说明书】:

发明提供激光加工设备上料系统及方法,包括:检测组件、运动组件、计算组件;运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置;检测组件用于检测待加工基板位置信息,并将检测结果传递至计算组件;计算组件用于对检测结果进行数据处理,并根据数据处理结果控制运动组件;计算组件将检测结果与标准模板进行对比,得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值,根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案,并通过运动组件进行角度修正和空间修正。本发明通过采用无夹持系统,避免了因夹持动作产生的基片损伤,减少了因夹持误差导致的废片产生,大大提升了放料的稳定性和整机的工作效率。

技术领域

本发明涉及激光加工设备领域,特别涉及激光加工设备上料系统及方法。

背景技术

在目前的激光加工领域,市场上百分之九十以上的激光加工设备使用的上料系统是带有培林(bearing,轴承)的夹持定位工作台,很少一部分使用的上料系统是可自动识别上料的无培林工作台,带有自动识别功能的上料工作台多为进口设备,且价格较高。

原有带夹持的上料系统工作模式如下:

取料机械手从料仓中取出基板,然后由运动电机带动取料机械手,将基板运送到放料位置,取料机械手下降,将基板放置到工作台面,然后取料机械手抬起,运动电机带着取料机械手运动到待定位置,工作平台的夹持系统通过气缸控制,带动夹持轮夹紧基板,此时基板处于夹持轮与固定轮之间,通过这种方式实现基板定位,然后工作台吸附真空,夹持轮复位,进行后续运动。

现有的带培林夹持定位工作台在上料过程中经常会出现基片暗裂,夹持动作偏差导致废片等问题,且定位轮与动轮均属于耗材,需定期维护更换。

发明内容

本发明为解决上述现有带培林夹持定位工作台的缺陷,提供以下激光加工设备上料系统及方法。

为实现上述目的,本发明采用以下具体技术方案:

激光加工设备上料系统,包括:检测组件、运动组件、计算组件;

运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置;

检测组件用于检测待加工基板位置信息,并将检测结果传递至计算组件;

计算组件用于对检测结果进行数据处理,并根据数据处理结果控制运动组件;计算组件将检测结果与标准模板进行对比,得出待加工基板与标准模板间的角度偏差值和空间偏差值,根据角度偏差值和空间偏差值计算出角度修正方案和空间修正方案,并通过运动组件进行角度修正和空间修正。

优选地,检测组件包括:识别相机和照明光源;运动组件移动待加工基板至设定检测位置,照明光源提供照明,识别相机进行图形采集。

优选地,运动组件包括:机械手、用于控制机械手的一号微型电机、用于控制工作台的二号电机;机械手夹取并移动待加工基板;一号微型电机驱动机械手进行角度移动或位置移动;二号电机驱动工作台进行位置移动。

优选地,一号微型电机为小型伺服电机。

优选地,空间偏差值包括:水平偏差值、垂直偏差值。

激光加工设备上料方法,包括以下步骤:

S1、运动组件进行取片动作,并在取片动作完成后,将待加工基板移动至设定检测区域;检测组件对待加工基板进行检测,并将检测结果传递至计算组件;

S2、计算组件将检测结果与标准模板进行对比,得出代加工基板与标准模板间的角度偏差值,根据角度偏差值计算出角度修正方案,并根据角度修正方案通过运动组件进行角度修正;在修正结束后,检测组件再次进行检测,并将检测结果传递至计算组件;

S3、重复S2,直至待加工基板与标准模板无角度偏差;

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