[发明专利]一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备

说明书

本发明公开了一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，具体涉及氮化镓生产技术领域，包括支腿和外壳体，所述外壳体底端的四个拐角处固定连接有支腿，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述外壳体一端四个拐角处的内部设置有卡槽，所述外壳体的一端设置有盖板，所述盖板一端的四个拐角处固定连接有圆块，所述盖板的另一端固定连接有把手，所述外壳体的内壁固定连接有电热丝。本发明通过设置有固定柱、套筒、凸块、轴套、放置板和放置槽，将镓源放进放置槽中，因放置槽设置有若干个，放置板为圆形，可放置多个镓源，利用放置槽中设置有加热片，可对镓源进行加热，在反应结束后，可利用凸块将套接在固定柱上的套筒取下，使其便于拿取更换新的镓源。

技术领域

本发明涉及氮化镓生产技术领域，具体为一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备。

背景技术

氮化镓是一种半导体材料，可用于发光二级管、探测器中，在制备氮化镓时，需要通过HPVE设备进行生产，现有的HPVE设备在设计上仍有一些问题，导致在使用时不便，因此我们需要对一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备进行改进。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：

（1）传统的可量产氮化镓的全立式HPVE设备镓源的放置空间较少，影响产量，且不便于拿取；

（2）传统的可量产氮化镓的全立式HPVE设备没有设置保温的功能，导致内部热量流失较快，无法保温；

（3）传统的可量产氮化镓的全立式HPVE设备内部空间较小，量产较少，工作效率较低；

（4）传统的可量产氮化镓的全立式HPVE设备气体散发不够均匀，影响镓源的生长效果；

（5）传统的可量产氮化镓的全立式HPVE设备衬底受热不够均匀，影响镓源的生长。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，以解决上述背景技术中提出镓源的放置空间较少，影响产量，且不便于拿取的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，包括支腿和外壳体，所述外壳体底端的四个拐角处固定连接有支腿，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述外壳体一端四个拐角处的内部设置有卡槽，所述外壳体的一端设置有盖板，所述盖板一端的四个拐角处固定连接有圆块，所述盖板的另一端固定连接有把手，所述外壳体的内壁固定连接有电热丝，所述外壳体和内壳体的内部设置有保温结构，所述内壳体的内部设置有辅助旋转结构，所述外壳体的顶端设置有第一气室，所述第一气室的底端设置有出气管，所述第一气室的顶端设置有第二气室，所述第二气室的顶端设置有生长室，所述生长室的一侧设置有进气口，所述生长室的顶端活动连接有密封盖，所述生长室与第二气室的内部之间设置有连接口，所述第二气室与第一气室的内部之间设置有辅助均匀结构，所述生长室的内部设置有便于拿取结构；

所述便于拿取结构包括固定柱，所述固定柱的底端与生长室内部的底端固定连接，所述固定柱的外部设置有套筒，所述套筒的顶端固定连接有凸块，所述套筒的外部固定连接有轴套，所述轴套的外部固定连接有放置板，所述放置板顶端的内部设置有放置槽。

优选的，所述保温结构由预留槽、安置槽、岩棉和卡块组成，所述安置槽设置在内壳体和支腿的内部之间，所述安置槽的内部设置有岩棉，所述岩棉的一端设置有卡块，所述卡块的一端设置有预留槽，所述卡块的底端与内壳体的外部分别固定连接。

优选的，所述预留槽嵌在支腿一端的内部，所述卡块的一端嵌在预留槽的内部，所述岩棉包裹在内壳体的外壁。

优选的，所述第一气室设置有两组，所述第一气室的大小相同，所述第一气室关于外壳体的中心线呈对称分布，所述出气管与内壳体的内部相连通。