[发明专利]一种光纤阵列及其制作方法

权利要求书

1.一种光纤阵列，包括：

定位基板；

固定在所述定位基板上的多组光纤组；以及

设置在所述定位基板上位于同一平面的多组定位沟槽组，其中，每组所述定位沟槽组用于支撑一组所述光纤组，不同所述光纤组被相应的所述定位沟槽组支撑在不同的定位高度；

其中，同一组光纤组中的每根光纤在竖直方向上位于同一高度;

每组所述定位沟槽组中每个定位沟槽的深度H相等；

第i+1组光纤组与第i组光纤组之间的高度差为固定值h；

所述多组光纤组中的每根光纤的直径均为D，第i组定位沟槽组中的各个定位沟槽的槽口宽度为L_i，其中

。

2.根据权利要求1所述的光纤阵列，其特征在于：

第i组光纤组中每根光纤与所述定位基板的底面之间的距离为l_i；

第i+1组光纤组中每根光纤与所述定位基板的底面之间的距离为l_i+1；

所述l_i小于所述l_i+1。

3.根据权利要求1所述的光纤阵列，其特征在于：每组光纤组中的每根光纤一一对应地卡接在每个定位沟槽的槽口。

4.根据权利要求1所述的光纤阵列，其特征在于：每组所述 定位沟槽组 中的每个定位沟槽的沟槽断面形状为矩形沟或倒梯形。

5.根据权利要求1所述的光纤阵列，其特征在于：所述定位基板材料为二氧化硅或硅。

6.根据权利要求1-5任一项所述的光纤阵列，其特征在于：所述光纤阵列还包括盖板；通过所述盖板将所述多组光纤组压合在所述定位基板上。

7.一种光纤阵列的制作方法，包括：

制备原始基板、光纤和盖板；其中，所述光纤包括多组光纤组；

在所述原始基板位于同一平面的表面刻蚀出多组定位沟槽组 形成一定位基板；

将每组光纤组中的每根光纤末端的涂覆层去除露出裸光纤端；其中，所述裸光纤端的长度大于或等于所述多组定位沟槽组 中每个定位沟槽的槽长；

将每组光纤组中的每根光纤一一对应地放置在所述多组定位沟槽组 的每个定位沟槽的槽口中；

将所述盖板置于所述多组光纤组的裸光纤端上，并通过所述盖板将所述多组光纤组的裸光纤端压合在所述定位基板上;

其中，每组 所述定位沟槽组 中每个定位沟槽的深度H相等；

第i+1组光纤组与第i组光纤组之间的高度差为固定值h；

所述多组光纤组中的每根光纤的直径均为D，第i组定位沟槽组中的各个定位沟槽的槽口宽度为L_i，其中

。

8.根据权利要求7所述的光纤阵列的制作方法，其特征在于，在所述原始基板表面刻蚀出多组定位沟槽组 形成一定位基板，包括：

在所述原始基板位于同一平面的表面通过半导体光刻工艺刻蚀出多组定位沟槽组 形成一定位基板。

9.根据权利要求7所述的光纤阵列的制作方法，其特征在于，通过所述盖板将所述多组光纤组的裸光纤端压合在所述定位基板上，包括：在所述定位基板位于同一平面的表面，通过紫外线固化胶将所述盖板、所述多组光纤组的裸光纤端和所述定位基板粘接固定在一起。