[发明专利]一种功率器件版图中金属连线的设计方法

权利要求书

1.一种功率器件版图中金属连线的设计方法，功率器件包括至少三层金属，适用于功率器件中顶金属层Mt、次顶金属层Mt-1和第三金属层Mt-2之间互连层的金属连接，第三金属层Mt-2和次顶金属层Mt-1通过接触孔Vt-1实现电气连接；次顶金属层Mt-1和顶金属层Mt通过接触孔Vt实现电气连接，顶金属层Mt直接与焊盘PAD连接；其中，第三金属层Mt-2代表的最低金属层为Metal2，顶金属层Mt所代表的顶金属层视具体工艺而定；接触孔Vt-1代表的最低层接触孔为VIA23，接触孔Vt所代表的接触孔可视具体工艺而定；该功率器件定义X方向为版图设计界面中横坐标方向，定义Y方向为版图设计界面中纵坐标方向；其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，首先，明确输入信号VIN和输出信号VOUT，确定焊盘PAD在版图中的位置，使其符合封装要求；

步骤二，接着，确定顶金属层Mt的宽度以及走线方向，对于输入信号VIN或输出信号VOUT，顶金属层Mt只有X方向或Y方向单向导通，并以“叉指”的方式使流过顶金属层Mt的电流信号足够强壮地连接到各自焊盘PAD上，所述足够强壮是指流过金属的电流密度不能超过工艺规定的电流密度；

步骤三，接着，确定第三金属层Mt-2的宽度以及走线方向，对于输入信号VIN或输出信号VOUT，第三金属层Mt-2只有X方向或Y方向单向导通，第三金属层Mt-2的走线方向在空间上必须与顶金属层Mt呈垂直关系，并以“叉指”的方式使流过第三金属层Mt-2的电流信号足够强壮地连接到下一层金属，并准备通过接触孔Vt-1足够强壮地连接到其上层的次顶金属层Mt-1；所述足够强壮是指流过金属的电流密度不能超过工艺规定的电流密度；

步骤四，然后，确定次顶金属层Mt-1的宽度以及走线方向，对于输入信号VIN或输出信号VOUT，次顶金属层Mt-1既有X方向上的导通也有Y方向上的导通，使流过次顶金属层Mt-1的电流信号足够强壮地连接到下一层第三金属层Mt-2和上一层顶金属层Mt。

2.根据权利要求1所述的一种功率器件版图中金属连线的设计方法，其特征在于，所述步骤四中，次顶金属层Mt-1完成向下连接时，如果Y方向上的顶金属层Mt的信号是输入信号VIN，在顶金属层Mt下方表示输出信号VOUT的次顶金属层Mt-1有X方向和Y方向连接，第三金属层Mt-2有X方向连接，且第三金属层Mt-2和次顶金属层Mt-1并行部分通过接触孔Vt-1上下连接，表示输入信号VIN的次顶金属层Mt-1在X方向上被表示输出信号VOUT的Y方向次顶金属层Mt-1切断，只剩第三金属层Mt-2保持X方向上连接，第三金属层Mt-2和次顶金属层Mt-1的并行部分通过接触孔Vt-1上下连接；反之亦然。

3.根据权利要求1所述的一种功率器件版图中金属连线的设计方法，其特征在于，所述步骤四中，顶金属层Mt和次顶金属层Mt-1表示相同信号的重合区域通过接触孔Vt上下连接，次顶金属层Mt-1和第三金属层Mt-2表示相同信号的重合区域通过接触孔Vt-1上下连接。