[发明专利]一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统及工艺

权利要求书

1.一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统，其特征在于，该回收系统包括：

氯化氢吸收塔；

尾气预处理设备组，所述尾气预处理设备组分别与氯化氢吸收塔的进气口和出气口之间连通；

换热设备组，所述换热设备组分别与氯化氢吸收塔的进液口和出液口之间连通，换热设备组连通有冷氢化反应器且换热设备组连通有对其直供高纯吸收液的精馏工序设备。

2.根据权利要求1所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统，其特征在于，所述高纯吸收液采用高纯四氯化硅，高纯四氯化硅由所述精馏工序设备供应。

3.根据权利要求1所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统，其特征在于，所述尾气预处理设备组包括：

进气换热器，所述进气换热器的Ⅰ进口连通有对其供应尾气的氢气压缩机，且进气换热器的Ⅱ进口与氯化氢吸收塔的出气口连通；

与进气换热器连通的进气氟利昂换热器，所述进气氟利昂换热器的出口与氯化氢吸收塔的进气口连通。

4.根据权利要求1所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统，其特征在于，所述换热设备组包括：

一级氯硅烷换热器，所述一级氯硅烷换热器的Ⅰ进口连通至氯化氢吸收塔的出液口，一级氯硅烷换热器的Ⅱ进口连通至精馏工序设备；

二级氯硅烷换热器，所述二级氯硅烷换热器的Ⅰ进口连通至一级氯硅烷换热器的Ⅱ出口，二级氯硅烷换热器的Ⅱ进口连通至一级氯硅烷换热器的Ⅰ出口，二级氯硅烷换热器的Ⅱ出口连通至冷氢化反应器；

进液氟利昂换热器，所述进液氟利昂换热器的进口与二级氯硅烷换热器的Ⅰ出口连通，且进液氟利昂换热器的出口与氯化氢吸收塔的进液口连通。

5.一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收工艺，其特征在于，该回收工艺包括：

S1：供应待回收的还原尾气至氯化氢吸收塔中；

S2：采用直供的高纯吸收液经换热工序后进入至氯化氢吸收塔中吸收氯化氢；

S3：氯化氢吸收塔吸收氯化氢后生成的氯硅烷富液经换热工序后采出至冷氢化反应工艺。

6.根据权利要求5所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收工艺，其特征在于，所述高纯吸收液为高纯四氯化硅，高纯四氯化硅由精馏工艺直供。

7.根据权利要求5所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收工艺，其特征在于，所述待回收的还原尾气经氢气压缩机供应至进气换热器的进气口，进气换热器的出口气体经进气氟利昂换热器换热后送入至氯化氢吸收塔的进气口中，且氯化氢吸收塔的出气口连通至进气换热器的另一进气口。

8.根据权利要求5所述的适用于多晶硅生产的还原尾气回收工艺，其特征在于，所述换热工序为：

高纯吸收液通过一级氯硅烷换热器与从氯化氢吸收塔采出的氯硅烷富液作一级换热；

一级换热后的氯硅烷富液经过二级氯硅烷换热器并对高纯吸收液作二级换热，且氯硅烷富液经二级氯硅烷换热器釆出至冷氢化反应工艺；

经二级换热后的高纯吸收液经进液氟利昂换热器作三级换热；

经三级换热后的高纯吸收液进入氯化氢吸收塔吸收氢气中的氯化氢气体。