[发明专利]一种高灵敏空化在线监测装置

权利要求书

1.一种高灵敏空化在线监测装置，其特征在于，包括绝缘层、石墨烯层、源极、漏极、第一阻挡部、第二阻挡部、电负性材料部、第一电正性材料部、第二电正性材料部，所述石墨烯层置于所述绝缘层上，所述源极和所述漏极置于所述石墨烯层上的两端，所述第一阻挡部和所述第二阻挡部固定在所述石墨烯层上，所述第一阻挡部和所述第二阻挡部位于所述源极和所述漏极的内侧，所述电负性材料部周期性地置于所述第一阻挡部和所述第二阻挡部之间，所述电负性材料部固定在所述石墨烯层上，所述第一电正性材料部和所述第二电正性材料部周期性地置于所述电负性材料部上，所述第一阻挡部和所述第二阻挡部的高度大于所述电负性材料部和所述第一电正性材料部或所述第二电正性材料部的高度之和。

2.如权利要求1所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：在所述绝缘层和所述石墨烯层的界面，所述绝缘层中设有孔洞。

3.如权利要求2所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述第一电正性材料部的高度小于所述第二电正性材料部的高度。

4.如权利要求3所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述孔洞设置在所述第二电正性材料部的下侧。

5.如权利要求4所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述孔洞的宽度大于或等于所述电负性材料部的宽度。

6.如权利要求1-5任一项所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述第一阻挡部和所述第二阻挡部为绝缘材料。

7.如权利要求6所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述第一电正性材料部和所述第二电正性材料部的材料为铝。

8.如权利要求7所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述电负性材料部的材料为氟化乙烯丙烯共聚物。

9.如权利要求8所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述源极和所述漏极的材料为金、银、铂。

10.如权利要求1-9任一项所述的高灵敏空化在线监测装置，其特征在于：所述石墨烯层中石墨烯的层数大于1层、小于9层。