[发明专利]一种水平振动在线监测装置

权利要求书

1.一种水平振动在线监测装置，其特征在于，包括绝缘层、石墨烯层、电负性材料部、源极、漏极、固定部、电正性材料部，所述石墨烯层置于所述绝缘层上，所述电负性材料部置于所述石墨烯层的一端上，所述石墨烯层延伸出所述绝缘层，并且包覆所述电负性材料部的侧面和顶面，所述源极设置在所述电负性材料部顶部的所述石墨烯层上，所述漏极设置在所述绝缘层上的所述石墨烯层上，所述固定部固定在所述石墨烯层上，所述固定部与所述电负性材料部接触，所述电正性材料部固定在所述固定部上，所述电正性材料部的侧面与所述电负性材料部的侧面接触。

2.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述固定部的高度小于所述电负性材料部高度的四分之一。

3.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电正性材料部的高度大于所述电负性材料部的高度。

4.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电正性材料部与所述石墨烯层或所述源极接触。

5.如权利要求1所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电正性材料部的顶部设有凹槽。

6.如权利要求1-5任一项所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述固定部的材料为绝缘材料。

7.如权利要求6所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电正性材料部的材料为铝。

8.如权利要求7所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述电负性材料部的材料为氟化乙烯丙烯共聚物。

9.如权利要求8所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述源极和所述漏极的材料为金、银、铂。

10.如权利要求1-9任一项所述的水平振动在线监测装置，其特征在于：所述石墨烯层中石墨烯的层数大于1层、小于8层。