[发明专利]一种非接触平面粗糙度测量系统及方法

权利要求书

1.一种非接触平面粗糙度测量系统，其特征在于，包括用于放置被测件的基座，基座旁设置有二维运动轴系，二维运动轴系上连接有运动控制器，二维运动轴系上安装有光学测量传感器，光学测量传感器上连接有光纤，光纤的另一端连接有光电信号处理器，光电信号处理器电连接有计算机，运动控制器也与计算机电连接。

2.根据权利要求1所述的一种非接触平面粗糙度测量系统，其特征在于，所述二维运动轴系包括驱动光学测量传感器竖直移动的竖直轴系和驱动光学测量传感器水平移动的水平轴系。

3.根据权利要求1所述的一种非接触平面粗糙度测量系统，其特征在于，所述光学测量传感器位于基座的上方。

4.一种非接触平面粗糙度测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将被测件置于基座上，计算机通过运动控制器控制二维运动轴系中竖直轴系向下移动；

S2：计算机通过读取光电信号处理器返回的数字信号，判断光学测量传感器是否进入测量量程范围，若到达量程中点，停止二维运动轴系中竖直轴系运动；

S3：计算机通过运动控制器控制二维运动轴系中水平轴系进行单向匀速运动，同时光学测量传感器进行工件表面粗糙度原始信息采集；

S4：计算机通过处理光电信号返回的工件表面的粗糙度原始信息与二维运动轴系中水平轴系运动信息，得出工件表面粗糙度数值。

5.根据权利要求4所述的一种非接触平面粗糙度测量方法，其特征在于，在步骤S1之前，计算机通过运动控制器控制二维运动轴系中竖直轴系向上方运动，使光学测量传感器远离基座。

6.根据权利要求4所述的一种非接触平面粗糙度测量方法，其特征在于，步骤S1中，使被测物置二维运动轴系的水平轴系的下方。

7.根据权利要求4所述的一种非接触平面粗糙度测量方法，其特征在于，步骤S3中，光学测量传感器将发射的复色光分解成单色光并将射出的光线聚拢在一条轴线上。