[发明专利]一种基于无尖角结构中局域表面等离子共振的超表面单层四分之一波片在审
| 申请号： | 202011427215.3 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112596143A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 钱沁宇;刘鹏飞;王钦华 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B5/00;G01N21/552 |
| 代理公司： | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 无尖角 结构 局域 表面 等离子 共振 单层 四分之一 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于无尖角结构中局域表面等离子共振的超表面单层四分之一波片，其特征在于：在SiO2衬底基板上涂覆厚度为
其中，
2.根据权利要求1上述的一种基于无尖角结构中局域表面等离子共振的超表面单层四分之一波片，其特征在于：涂覆Ag层前，先将SiO2衬底基板清洗干净，以真空镀膜的方式镀上一层6-10nm厚的Ag层，再通过聚焦离子束FIB刻蚀出相应的形状。
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