[发明专利]一种六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法

权利要求书

1.一种六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述方法包括：

设定六氟化硫气体组分中被矫正离子的标准质量数；

设定被矫正离子的质量数矫正系数；

对六氟化硫气体样品进行检测，得到被矫正离子的探测量；

基于被矫正离子的探测量计算得到所对应的质量数；

基于所对应的质量数得到最优化的质量数校正系数；

基于最优化的质量数校正系数计算得到最优的质量数数据。

2.如权利要求1所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述设定六氟化硫气体组分中被矫正离子的标准质量数包括：

设定SF₅⁺的标准质量数y₁，y₁取值为126.96；SF₃⁺的标准质量数y₂，y₂取值为88.97；SF⁺标准质量数y₃，y₃取值为50.97；F⁺标准质量数y₄，y₄取值为19.00。

3.如权利要求2所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述设定被矫正离子的质量数矫正系数包括：

设定质量数校正系数初始值w_o。

4.如权利要求3所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述对六氟化硫气体样品进行检测，得到被矫正离子的探测量包括：

开启质谱仪，对六氟化硫气体样品进行检测，得到SF₅⁺、SF₃⁺、SF⁺和F⁺的探测量，其中：SF₅⁺对应探测量为x₁，SF₃⁺对应探测量为x₂，SF⁺对应探测量为x₃，F⁺对应探测量为x₄。

5.如权利要求4所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述基于被矫正离子的探测量计算得到所对应的质量数包括：

根据所用的质谱仪的质量分析器的原理，离子的质量数y与质谱仪的探测量x满足以下的理论函数：

y＝f(x，w) 公式(1)

其中w＝[w₁，w₂，...w_n]^T为质量数校正系数；

将x₁、x₂、x₃、x₄分别带入公式(1)计算得到所对应的质量数f(x_i，w_o)，其中：i＝1，2，3，4。

6.如权利要求5所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述基于所对应的质量数得到最优化的质量数校正系数包括：

这里得到最优化的质量数校正系数w_t，使得SF₅⁺、SF₃⁺、SF⁺和F⁺的质量数与标准质量数之间差值的平方根为最小。

7.如权利要求1至6任一项所述的六氟化硫气体组分质谱信号的校正方法，其特征在于，所述方法还包括：通过F⁺的信号强度与预设信号强度的比较，对各组分离子的信号强度进行实时线性校正。