[发明专利]一种具有金属膜的弯曲波导

权利要求书

1.一种具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，包括基底层(2)和光波导层(1)，所述基底层(2)作为所述光波导层(1)的衬底，所述光波导层(1)包括上包层、芯层和下包层，所述上包层和所述下包层分别覆盖所述芯层的顶面和底面，所述芯层在所述基底层(2)所在的平面上连续并形成夹角，所述芯层在其夹角顶点处的外侧面(11)为平面结构并涂覆有金属膜(13)，所述金属膜(13)所在的平面与所述夹角的角平分线垂直。

2.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层在所述基底层(2)所在的平面上形成90°夹角。

3.根据权利要求2所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层在其夹角顶点处的内侧面(12)形成90°夹角，所述内侧面(12)与所述金属膜(13)所在的平面呈45°夹角。

4.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层在其夹角顶点两侧位置的横截面大小形状相同。

5.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层为条形结构。

6.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层的厚度与所述金属膜(13)在其垂向上的长度相等。

7.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述金属膜(13)所在平面与所述基底层(2)所在的平面垂直。

8.根据权利要求4所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述金属膜(13)在所述芯层端面上的投影与所述芯层端面的大小形状相同。

9.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述芯层的两端至所述夹角顶点的距离相等。

10.根据权利要求1所述的具有金属膜的弯曲波导，其特征在于，所述金属膜(13)的厚度范围为0.2-2nm。