[发明专利]一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容在审
| 申请号： | 202011431103.5 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112670087A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 段阳;胡芳仁;成宏卜;张伟;张雪花 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01L27/11507 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 崔新芬 |
| 地址： | 210023 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 储存器 使用 薄膜 电容 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容，包括硅基底层(1)、上电极层(2)、铁电薄膜层(3)以及下电极层(4)，其特征在于：所述上电极层(2)、铁电薄膜层(3)以及下电极层(4)依次设置于硅基底层(1)上且在上电极层(2)、下电极层(4)与铁电薄膜层(3)之间分别设置有缓冲层(5)，在所述缓冲层(5)与铁电薄膜层(3)之间设置有隔离层(6)，所述上电极层(2)的上部设置有呈格栅状的金属互联(7)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容，其特征在于：所述隔离层(6)采用YBa2Cu3O7通过脉冲激光沉积法附着于铁电薄膜层(3)上。
3.根据权利要求1所述的一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容，其特征在于：所述上电极层(2)采用铝电极，下电极层(2)采用铂电极。
4.根据权利要求1所述的一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容，其特征在于：所述铁电薄膜层(3)为掺钽的铅锆钛薄膜层，厚度为200nm～450nm。
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