[发明专利]一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置

权利要求书

1.一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，该装置包括底座(1)、设置在底座(1)上的旋转气缸(2)、与旋转气缸(2)传动连接的滑轨安装板(3)、一对并列设置在滑轨安装板(3)侧面的夹持单元以及设置在滑轨安装板(3)侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构，所述的夹持单元包括设置在滑轨安装板(3)侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的夹块安装座(5)以及一对并列设置在夹块安装座(5)上的夹块(6)。

2.根据权利要求1所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的旋转气缸(2)设置在底座(1)的顶部侧面。

3.根据权利要求1所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的滑轨安装板(3)与旋转气缸(2)的旋转台固定连接，所述的旋转台的旋转轴呈水平方向。

4.根据权利要求1所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的气缸驱动机构包括水平设置在滑轨安装板(3)侧面的线性滑轨(4)以及设置在滑轨安装板(3)侧面并与夹块安装座(5)传动连接的夹持气缸(7)，所述的夹块安装座(5)的一端与线性滑轨(4)的滑块固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的夹持气缸(7)与夹块安装座(5)之间设有气缸轴连接板(8)，所述的夹持气缸(7)的气缸轴通过气缸轴连接板(8)与夹块安装座(5)相连。

6.根据权利要求1所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的夹块(6)包括设置在夹块安装座(5)上的夹块下圆柱部(601)、设置在夹块下圆柱部(601)上的夹块圆台部(602)以及设置在夹块圆台部(602)顶部的夹块上圆柱部(603)，所述的夹块圆台部(602)的顶部与夹块上圆柱部(603)的底部之间开设有夹块槽口(604)。

7.根据权利要求6所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的夹块圆台部(602)的外径由上而下逐渐增大，所述的夹块圆台部(602)的底面外径大于夹块上圆柱部(603)的外径，所述的夹块圆台部(602)的顶面外径小于夹块上圆柱部(603)的外径。

8.根据权利要求1所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的平移限位机构包括设置在滑轨安装板(3)侧面并与其中一个夹块安装座(5)相适配的限位块(11)。

9.根据权利要求8所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的平移限位机构还包括设置在滑轨安装板(3)侧面并与另一个夹块安装座(5)相适配的缓冲组件。

10.根据权利要求9所述的一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，其特征在于，所述的缓冲组件包括设置在滑轨安装板(3)侧面的缓冲器安装座(9)以及设置在缓冲器安装座(9)上的缓冲器(10)。