[发明专利]水下触觉传感器和其制备方法

权利要求书

1.一种水下触觉传感器，其特征在于，所述水下触觉传感器是置于含有离子流体中，包括：

柔性电路板，包括柔性基板，所述柔性基板的表面上分布有叉指电极；

弹性体层，与所述柔性电路板含有所述叉指电极的表面结合，并覆盖所述叉指电极；在所述弹性体层的面对所述叉指电极表面上设置若干弹性体凸起，且在所述弹性体层与柔性电路板相结合面之间形成有由所述弹性体凸起分布而形成的若干通道，所述通道穿过所述叉指电极所含的叉指条电极表面，且与外界相通，所述弹性体层为非离子型弹性体。

2.如权利要求1所述的水下触觉传感器，其特征在于，相邻两个所述弹性体凸起之间的间距为0.01-10000微米；和/或

所述弹性体凸起的高度为0.01-5000微米；和/或

所述弹性体凸起的直径为0.01-10000微米；和/或

所述弹性体凸起包括金字塔形、半球形、柱状、其他不规则形状中的至少一种形貌；和/或

所述弹性体层的厚度为1-10000微米。

3.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述弹性体凸起是呈现阵列分布在所述弹性体层表面上。

4.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述弹性体凸起和/或弹性体层的形变量为0.1%-1000%；和/或

所述弹性体凸起和/或弹性体层的弹性模量为0.01Mpa-1000Mpa。

5.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述弹性体凸起和/或弹性体层的材料包括硅橡胶、热塑性聚氨酯橡胶、天然橡胶中的至少一种。

6.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述叉指条电极的线宽为0.1-1000微米；和/或

所述叉指条电极的相邻两条电极之间间距为0.1-1000微米。

7.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述柔性基板的厚度为1-1000微米。

8.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，所述柔性基板的材料包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚醚酮、聚砜中的至少一种。

9.如权利要求1或2所述的水下触觉传感器，其特征在于，还包括信号检测单元，所述信号检测单元与所述叉指电极连接。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的水下触觉传感器的制备方法，包括如下步骤：

在柔性基板的表面形成叉指电极；

制备弹性体层，并在所述弹性体层表面上形成若干弹性体凸起；其中，相邻弹性体凸起之间至少在靠近末端部有间隙；

将所述弹性体层与所述柔性基板含有所述叉指电极的表面结合，并覆盖所述叉指电极，同时使得所述弹性体凸起设置在所述弹性体层与所述柔性基板之间。