[发明专利]晶圆片同心规整装置在审
| 申请号： | 202011434611.9 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112447562A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 朱赛勇 | 申请（专利权）人： | 苏州天弘激光股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 沈留兴 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆片 同心 规整 装置 | ||
1.一种晶圆片同心规整装置，其特征在于：包括安装板(1)、固定板(2)和规整机构；所述安装板(1)通过支撑轴(21)安装在固定板(2)上；所述安装板(1)靠近固定板(2)的一面上设置有直线导轨(12)；所述直线导轨(12)上设置有滑块(13)；所述固定板(2)底部设置有步进电机(22)；所述安装板(1)中心开设有圆孔，所述圆孔内设置有感应开关(18)；所述安装板(1)上还设置有限制规整装置的限位装置。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述规整装置包括规整轴(11)、链杆(17)和转盘(23)；所述规整轴(11)底部连接有滑块连接件(14)；所述滑块连接件(14)固定连接在滑块(13)上；所述链杆(17)的一端通过长定位销(15)与滑块连接件(14)连接，另一端设置于转盘(23)上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述转盘(23)与步进电机(22)的转轴连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述安装板(1)上沿着圆孔径向开设有多个条形通孔。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述规整装置共有多组，每组规整装置的直线导轨(12)与一个条形通孔长度方向平行。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述规整轴(11)穿过条形通孔后伸出安装板(1)上表面。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆片同心规整机构，其特征在于：所述限位装置包括分别设置于直线导轨(12)首尾两端的外限位开关(101)和内限位开关(103)；还包括设置于滑块连接件(14)上的感应片(102)；所述滑块连接件(14)沿直线导轨(12)运动时会触发外限位开关(101)和内限位开关(103)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
