[发明专利]一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法

说明书

本发明公开了一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法，包括液体排放模块、具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路、第一标定流路和第二标定流路，第一标定流路用于标定液体流路中具有的传感器，第一标定流路为第一高精度检测流路，第一标定流路具有第一高精度传感器，第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；第一标定流路连接设于多条液体流路后级和液体排放模块前级之间位置处，第二标定流路为第二高精度检测流路，待标定传感器和第一高精度传感器无需从供液系统中取出，便可确定传感器校正量，实现传感器重新标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高。

技术领域

本发明涉及供液系统控制技术，尤其是涉及一种具有传感器标定流路的供液系统及标定方法。

背景技术

在供液系统中，为满足多样化、差异化生产需求，例如浸没式光刻机中的浸没液体控制系统，需要对被控制液体在温度、流量和压力等特性参数上实现可靠稳定输出，而通常用于对供液系统中的液体进行温度、流量和压力测量的传感器，在长期测量使用过程中，出现和存在测量漂移的问题，导致经用于进行温度、流量和压力测量后的液体仍不满足控制需求，无法实现液体于设定范围值内的可靠稳定输出。

在申请号为CN201010239620.2的中国发明专利中，公开了一种光刻设备和器件制造方法，该发明专利在其设备内部设有两路流体路径和一路旁路路径，旁路路径负责将两条流体路径桥接连结，使得在两路流体路径内部流动的流体均能流至另一路流体路径中；该发明专利在其中一路流体路径和旁路路径中均设有温度传感器，通过切断其中一路流体流动，并使得另一路流体流经流体路径和旁路路径中所设置的温度传感器，通过比较两个温度传感器所输出的信号，进行温度校准，该校准方式为相对校准方式，在正常使用过程中，两温度传感器均处于工作负载状态，两温度传感器均能产生误差，该发明专利采用的相对校准方式只是将两温度传感器校准至同一温度检测值，在长期使用过程中，两温度传感器可能存在以正反馈的形式不断偏离原定温度检测值，该校准方式不适用于输出流体温度精度要求高的设备。

在申请号为CN201010618388.3的中国发明专利中公开了一种温度传感器标定装置及方法，该发明专利在其内部设置有标准传感器，在以标准传感器为中心处圆周设置有待标定温度传感器，待标定温度传感器旁设有用于检测标定温度传感器电阻值的电阻测量仪，温度标定时，以标准传感器检测的温度值为标定温度下，记录待标定温度传感器检测出的温度值和待标定温度传感器的电阻值，通过设定多个温度标定点，拟合得到待标定温度传感器特性方程参数，根据所得参数调节待标定温度传感器，该校准方式因其检测原理使得适用范围受到限制，只适用于采用电阻式的温度传感器。

在申请号为CN201710218045.X的中国发明专利中公开了一种流量传感器校准方法及系统，该发明专利在其设备内部设有流量传感器、压差传感器和PC校准端，通过压差传感器检测流体多个不同流量下其对应的压差，将记录的数据进行拟合得到测试量程内的标准流量——压差曲线，校准时，记录流量传感器测得的测量流量值和压差传感器下的压差值并发送给PC校准端，PC校准端将测量流量值和标准流量——压差曲线进行比对，计算出补偿因子并对流量传感器进行校准，该校准方式在使用前，需要进行多次标定实验，实验后得出的标准流量——压差曲线其作用范围受管路和流体介质限定，任意改变管路布局或流体介质更替，原有的标准流量——压差曲线便失效，需要重新实验制图。

发明内容

本发明为解决现有供液系统中因传感器在长久工作后，其检测值会因其系统内部误差累积而产生漂移缺陷而需要采用的标定技术存在着标定使用范围较为有限、标定结果容易因管路或介质的改变而失效导致的标定工作量大，标定方式较为单一等现状而提供的一种待标定传感器无需改变固定位置或从安装设备内取出，便可进行有效便捷标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高的具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法。