[发明专利]一种长晶炉视窗镜片清洁装置

权利要求书

1.一种长晶炉视窗镜片清洁装置，其特征在于，

包括支撑基座、镜片承载装置和多个镜片清洁单元，所述支撑基座设有第一进给单元，所述镜片承载装置与所述第一进给单元连接设置，以使所述镜片承载装置按照设定的运行路线进给；

所述镜片承载装置包括能与被清洁镜片的外周相适配的镜片握持部；

所述支撑基座上还设有多个第二进给单元，每个所述镜片清洁单元与一个所述第二进给单元连接设置，以使所述镜片清洁单元能够靠近或远离所述镜片承载装置；

所述镜片清洁单元包括清洁介质供送单元和对被清洁镜片的镜面清洁的擦拭单元，在清洁过程中，所述清洁介质供送单元对所述擦拭单元擦拭过程提供清洁介质；

至少部分所述镜片清洁单元的清洁介质供送单元所能提供的清洁介质设为抛光介质，至少部分所述镜片清洁单元的清洁介质供送单元所能提供的清洁介质设为清洁液；

所述镜片清洁装置还包括电控系统，所述第一进给单元、所述第二进给单元和多个所述镜片清洁单元均受所述电控系统控制。

2.根据权利要求1所述长晶炉视窗镜片清洁装置，其特征在于，

每个镜片的清洁过程包括第一步骤、第二步骤和第三步骤：

于所述第一步骤，一个镜片清洁单元的清洁介质供送单元提供清洁介质，所述清洁介质设为抛光介质，且该镜片清洁单元的擦拭单元对镜片的镜面进行抛光擦拭；

于所述第二步骤，另一个镜片清洁单元的清洁介质供送单元提供清洁液，且该镜片清洁单元的擦拭单元对镜片的镜面进行擦拭；

于所述第三步骤，第三个镜片清洁单元的清洁介质供送单元提供清洁液，且该镜片清洁单元的擦拭单元对镜片的镜面进行擦拭；

所述镜片清洁单元的清洁时长根据被清洁镜片的受污程度、所执行的清洁步骤确定。

3.根据权利要求2所述长晶炉视窗镜片清洁装置，其特征在于，

所述支撑基座上设有3N个所述镜片清洁单元，镜片承载装置包括3N个间隔设置并与3N个所述镜片清洁单元对位适配的承载支架，其中N为大于等于1的正整数；

其中三分之一的所述镜片清洁单元能够执行所述第一步骤，提供抛光介质并能对被清洁的介质提供抛光擦拭；

其中三分之一的所述镜片清洁单元能够执行所述第二步骤，以对抛光擦拭后的被清洁镜片进行第二次清洁；

其余三分之一的所述镜片清洁单元能够执行所述第三步骤，以对经过所述第二步骤擦拭后的被清洁镜片进行第三次清洁。

4.根据权利要求3所述长晶炉视窗镜片清洁装置，其特征在于，

所述镜片承载装置还包括承载台，每个所述承载支架的一端与所述承载台固连，所述镜片握持部固设于每个所述承载支架的另一端；

所述镜片清洁装置所包括的多个所述镜片清洁单元设于所述镜片承载装置的运行轨迹的一侧或两侧，每个所述镜片清洁单元经一个所述第二进给单元与所述支撑基座连接设置。

5.根据权利要求4所述长晶炉视窗镜片清洁装置，其特征在于，

所述第一进给单元包括第一驱动单元、第一螺纹杆和第一滑块，所述第一滑块与所述第一螺纹杆旋扣传动连接，所述第一螺纹杆固设于所述支撑基座上并受所述第一驱动单元驱动；所述第一滑块与所述承载台固连，于所述支撑基座和所述承载台相对位置中的一处设有与所述第一螺纹杆轴线平行的导轨，两者中的另一处设有与所述导轨滑动适配的滑槽；所述第一驱动单元驱动所述第一螺纹杆转动时，所述镜片承载装置按设定轨迹沿所述导轨相对所述支撑基座运动，所述第一驱动单元受所述电控系统控制以使所述镜片承载装置运行到设定的清洁位置。