[发明专利]适用于直管蒸发装置的光路稳定结构

权利要求书

1.一种适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：包括空气扰动补偿机构和光路漂移量探测机构，所述空气扰动补偿机构包括Ⅰ号快速反射镜（2）和设置于其反射光路上的Ⅱ号快速反射镜（3），Ⅰ号快速反射镜（2）设置于激光器（1）发射光路上；所述光路漂移量探测机构包括设置于Ⅱ号快速反射镜（3）反射光路上的分光镜（5）和设置于分光镜（5）反射管路上的位置探测器（4）；所述Ⅰ号快速反射镜（2）和Ⅱ号快速反射镜（3）之间设置准直调整系统（6）。

2.根据权利要求1所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：直管蒸发装置（7）设置于所述分光镜（5）的透射光路上。

3.根据权利要求1所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述Ⅰ号快速反射镜（2）设置于尽可能靠近激光器（1）的位置。

4.根据权利要求1所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述Ⅱ号快速反射镜（3）设置于尽可能靠近直管蒸发装置（7）的入射窗口的位置。

5. 根据权利要求1所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述位置探测器（4）由2个PSD 2D位置敏感探测器组成。

6.根据权利要求1所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述准直调整系统（6）包括基座机构和准直机构，所述基座机构包括四维调整座（9）和设置于四维调整座（9）上的导轨（8）；所述准直机构包括沿光路依次设置的Ⅰ号透镜（10）、Ⅱ号透镜（11）和光阑（12）；Ⅰ号透镜（10）、Ⅱ号透镜（11）和光阑（12）均设置于导轨（8）上。

7.根据权利要求6所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述Ⅰ号透镜（10）、Ⅱ号透镜（11）和光阑（12）均通过磁性固定座（15）设置于导轨（8）上。

8.根据权利要求6所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述Ⅰ号透镜（10）、Ⅱ号透镜（11）和光阑（12）的中心水平线共线。

9.根据权利要求6所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述准直调整系统（6）还包括定位机构，定位机构包括Ⅰ号光束定位板（13）和Ⅱ号光束定位板（14），两者分别设置于导轨（8）的两端。

10.根据权利要求9所述的适用于直管蒸发装置的光路稳定结构，其特征在于：所述Ⅰ号光束定位板（13）和Ⅱ号光束定位板（14）上均形成小孔，且两者小孔的中心位于Ⅰ号透镜（10）、Ⅱ号透镜（11）和光阑（12）的中心水平线上。