[发明专利]一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法在审
申请号: | 202011442146.3 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112652718A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 许伟;彭俊彪;宁洪龙;姚日晖 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L51/40 | 分类号: | H01L51/40;H01L51/05;H01L51/10 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 殷妹 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 有机 薄膜晶体管 器件 迁移率 方法 | ||
1.一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,将PEDOT源漏电极进行酸处理,包括以下步骤:
采用喷墨打印技术制备PEDOT源漏电极,将PEDOT源漏电极加热处理,冷却后在PEDOT源漏电极表面加酸并静置一段时间,洗涤,干燥后热退火处理;
所述酸为硫酸、盐酸和硝酸中的至少一种。
2.根据权利要求1所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述酸为质量浓度为50~98%的浓硫酸酸、浓盐酸和浓硝酸中的至少一种。
3.根据权利要求1所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述静置的时间为5~15min。
4.根据权利要求1所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述加热处理的温度为80~200℃,时间为5~15min。
5.根据权利要求1所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述热退火处理的温度为80~200℃,时间为5~15min。
6.根据权利要求1所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述全有机薄膜晶体管器件的结构由下往上依次为:衬底、聚乙烯醇界面修饰层、PEDOT源漏电极、PDQT有源层、聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层、聚乙烯醇界面修饰层和PEDOT栅极。
7.根据权利要求6所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述聚乙烯醇界面修饰层的厚度为40~100nm,PDQT有源层的厚度为40~100nm,聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层的厚度为400~600nm,聚乙烯醇界面修饰层的厚度≤10nm;所述全有机薄膜晶体管器件的沟道长度为10μm,宽度为460μm。
8.根据权利要求6所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述PEDOT源漏电极和PEDOT栅极的材料均为导电聚合物PEDOT:PSS500。
9.根据权利要求6所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述聚乙烯醇界面修饰层、PDQT有源层、聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层和聚乙烯醇界面修饰层均采用溶液旋涂的方法进行制备;所述栅极在大气环境下通过喷墨打印工艺制备。
10.根据权利要求6所述一种提高全有机薄膜晶体管器件迁移率的方法,其特征在于,所述衬底为透明玻璃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择