[发明专利]一种利用飞秒激光制备的蓝宝石F-P光纤温度传感器

权利要求书

1.一种利用飞秒激光制备蓝宝石F-P光纤温度传感器的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤a、将蓝宝石光纤依次放入36％的浓盐酸、丙酮以及酒精中各清洗10分钟，清洗过后干燥10分钟，对干燥后的所述蓝宝石光纤进行化学机械抛光；

步骤b、对抛光后的所述蓝宝石光纤进行超声波清洗，将清洗过后的所述蓝宝石光纤放置在飞秒激光刻制台上；

步骤c、将所述蓝宝石光纤垂直所述飞秒激光刻制台，打开飞秒激光，将所述飞秒激光聚焦在纤芯顶部，调高所述飞秒激光功率，沿着所述蓝宝石光纤垂直方向向下刻写，刻制出第一个反射镜；

步骤d、将所述飞秒激光移动500μm刻制出第二个反射镜，形成法布里珀罗结构；

步骤e、将刻制完成后的所述蓝宝石光纤用超声波清洗，并对刻制好的所述蓝宝石光纤进行包层涂覆；所述包层涂覆，具体包括：使用Al₂O₃多晶氧化铝溶液在80℃下进行涂敷，涂覆时间为1小时，涂覆完成后将所述蓝宝石光纤抽出；

步骤f、对涂覆后的所述蓝宝石光纤进行烧结，烧结温度为500摄氏度，烧结后得到蓝宝石F-P光纤，所述蓝宝石F-P光纤折射率为1.6。

2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光制备蓝宝石F-P光纤温度传感器的方法，其特征在于，步骤a中所述蓝宝石光纤进行化学机械抛光作业时，抛光头与抛光垫转速为70r/min，抛光压力抛光液采用二氧化硅抛光液，抛光液流速为90ml/min，抛光压力为49kpa。

3.一种基于权利要求1或2所述方法制备的蓝宝石F-P光纤温度传感器的高温测量方法，其特征在于，所述测量方法包括以下步骤：

步骤①、将蓝宝石F-P光纤传感器放置在高温炉内，环形器三个接口依次连接宽带光源、光谱仪和所述蓝宝石F-P光纤传感器；

步骤②、进行测量时，调节所述高温炉的温度，所述宽带光源将光通过所述环形器输送到所述蓝宝石F-P光纤传感器的F-P端，所述F-P端将1500～1600nm的光通过所述环形器反射到所述光谱仪，所述光谱仪进行分析。

4.根据权利要求3所述的高温测量方法，其特征在于，在100～1500℃温度范围内，所述蓝宝石F-P光纤传感器具有良好的线性度。