[发明专利]一种石墨片卡点自动压装设备

说明书

本发明提供一种石墨片卡点自动压装设备，包括工作台、框架、压装平台、移动模组、吸盘组件、压装组件、振动盘供料系统和控制单元，框架固定罩设于工作台上；压装平台设于工作台上，用于放置石墨片。本发明利用控制单元进行电气控制，利用振动盘供料系统供给卡点，利用移动模组实现吸盘组件、压装组件的前后、左右、上下运动，利用吸盘组件进行上料和下料操作，利用压装组件将卡点精准压装到石墨片上的卡孔内，压装组件中的相机能够提高压装定位精度，避免错压，压力传感器能够检测压装时的压力大小，避免过压，从而能够提高压装合格率，提高压装效率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种石墨片卡点自动压装设备。

背景技术

在太阳能电池的生产过程中，PECVD（Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。

为了将硅片固定于石墨舟中，石墨舟的石墨片上设有用于固定硅片的卡点。为了将卡点压装到石墨片的对应位置，需要使用卡点压装设备。目前的卡点压装设备在工作过程中定位精度较低，易造成错压，降低了产品合格率；压装时的压力大小不能精准控制，过压时易造成石墨片损坏。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石墨片卡点自动压装设备，自动进行上料、卡点压装、下料操作，精准定位卡点压装位置，避免错压；对压装时的压力进行检测，避免过压造成石墨片损坏。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种石墨片卡点自动压装设备，包括工作台、框架、压装平台、移动模组、吸盘组件、压装组件、振动盘供料系统和控制单元，所述框架固定罩设于所述工作台上；所述压装平台设于所述工作台上，用于放置石墨片；所述控制单元设于所述框架的外侧，所述控制单元与所述移动模组、吸盘组件、压装组件、振动盘供料系统电性连接；

所述移动模组包括第一丝杆模组、第二丝杆模组、第三丝杆模组和第四丝杆模组，所述第一丝杆模组沿第一方向设于所述框架的内壁两侧，所述第二丝杆模组沿第二方向设置，所述第二丝杆模组的两端分别与两侧的所述第一丝杆模组可滑动地连接，所述第三丝杆模组可沿所述第二方向滑动地设于所述第二丝杆模组的一侧，所述第四丝杆模组可沿所述第二方向滑动地设于所述第二丝杆模组的另一侧，所述第三丝杆模组、所述第四丝杆模组的长度方向均沿第三方向；其中，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向两两垂直；

所述吸盘组件包括第一滑动板、第一固定板和吸盘，所述第一滑动板可沿所述第三方向滑动地设于所述第三丝杆模组上，所述第一固定板与所述第一滑动板连接，所述吸盘设于所述第一固定板的底面；

所述压装组件包括第二滑动板、第二固定板、相机、压力传感器和压头，所述第二滑动板可沿所述第三方向滑动地设于所述第四丝杆模组上，所述第二固定板与所述第二滑动板连接，所述相机设于所述第二固定板上，所述压头设于所述第二固定板的底面，所述压力传感器设于所述压头与所述第二固定板的连接处；

所述振动盘供料系统设于所述工作台上，用于为所述压装组件供给卡点。

优选地，所述压装平台上设有与所述石墨片的结构相匹配的定位槽。

优选地，所述工作台上设有上料区和下料区，所述上料区设于所述下料区与所述压装平台之间。