[发明专利]电镀设备用阴极组件

权利要求书

1.一种电镀设备用阴极组件，其中，包括：

滚子主体，具备第一紧固部和第二紧固部；

第一轴，具备与所述第一紧固部相对应的第三紧固部，所述第一轴以能够解除结合的方式连接于所述滚子主体的一端部；以及

第二轴，具备与所述第二紧固部相对应的第四紧固部，所述第二轴以能够解除结合的方式连接于所述滚子主体的另一端部。

2.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

在所述第一紧固部和所述第二紧固部分别形成有螺纹，

在所述第三紧固部形成有与所述第一紧固部相对应的螺纹，使得所述第一紧固部和所述第三紧固部螺纹结合，

在所述第四紧固部形成有与所述第二紧固部相对应的螺纹，使得所述第二紧固部和所述第四紧固部螺纹结合。

3.根据权利要求2所述的电镀设备用阴极组件，其中，

还包括支撑轴，所述支撑轴使所述第一轴和所述第二轴相连接。

4.根据权利要求3所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述第一轴和所述第二轴中的至少一个具备紧固槽，所述支撑轴插入于所述紧固槽。

5.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述第一轴和所述第二轴分别包括：

轴主体；以及

轴凸缘，配置于所述轴主体的端部并结合于所述滚子主体。

6.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

还包括密封构件，所述密封构件配置在所述滚子主体和所述第一轴之间以及所述滚子主体和所述第二轴之间。

7.根据权利要求6所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述滚子主体具备插入槽，所述密封构件插入于所述插入槽。

8.根据权利要求1所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述电镀设备用阴极组件输送薄膜，以形成电镀保护膜，

所述薄膜包括金属层，所述金属层在执行电镀之前以规定的厚度配置于所述薄膜的表面，

所述薄膜在所述金属层的厚度为0.5μm以上、电流密度为0.1A/m²至3.5A/m²、温度为34℃以上的条件下执行电镀。

9.根据权利要求3所述的电镀设备用阴极组件，其中，

所述第一轴和所述第二轴中的任意一个与所述支撑轴形成为一体。