[发明专利]实现多轴力检测的柔性触觉传感器

权利要求书

1.实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于从上至下具体包括：

凸台，位于器件的中心位置；

上基板，其中心与凸台圆心重叠；

上侧圆环电极，中心与凸台圆心重叠；

隔离层，主要作用是保证上下两层电极绝对不会接触；

支撑结构，包括中心的支柱与四周的侧壁，支撑结构的中心与凸台圆心重叠，中心支柱圆直径小于凸台；中心支柱的边沿与上侧圆环电极内侧保持一定距离；

电极组合，以凸台圆心为圆心，夹角为1～30度的圆形辐射分布；

下基板，中心与凸台圆心重叠。

2.如权利要求1所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于凸台的直径0.8～1.2mm。

3.如权利要求2所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于上侧圆环电极圆环内径为0.75～1.2mm，圆环外径为4～6.5mm。

4.如权利要求3所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于隔离层、上基板、下基板尺寸一致。

5.如权利要求4所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于支撑结构中心的支柱为0.7～1.1mm。

6.如权利要求5所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于支撑结构中心支柱的边沿与上侧圆环电极内侧距离，为50～100um。

7.如权利要求6所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于支撑结构侧壁内侧为圆形，离圆环电极外轴0.5～1mm的距离。

8.如权利要求7所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于电极组合中每个电极长2～2.5mm，宽0.1～0.8mm；电极组合所构成的圆直径为5～6mm。

9.如权利要求1所述的实现多轴力检测的柔性触觉传感器，其特征在于凸台材料、上基板、下基板为PDMS、PET或PEN柔性聚合物；上侧圆环电极和电极组合材料是金、银、铜导电金属；隔离层、支撑结构材料为PDMS。