[发明专利]一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置

权利要求书

1.一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，包括超高真空双面密封法兰(1)和安装在超高真空双面密封法兰(1)上的气体导管(5)，以及屏蔽层定位盖环(9)、屏蔽层(10)，气体导管(5)、屏蔽层(10)与超高真空双面密封法兰(1)三者的轴线重合，并与超高真空双面密封法兰(1)平面垂直；其特征在于：

在所述的气体导管(5)外部由内向外以同轴方式依次设置有内螺旋线圈(6)、绝缘定位管(7)和外螺旋线圈(8)；在内螺旋线圈(6)的一端设置有内螺旋线圈接地端(12)，在其紧邻该内螺旋线圈接地端(12)的第一匝上设置有内螺旋线圈射频接入端(11)，在外螺旋线圈(8)的一端设置有外螺旋线圈接地端(3)，在其紧邻该外螺旋线圈接地端(3)的第一匝上设置有外螺旋线圈射频接入端(4)；所述内螺旋线圈接地端(12)、外螺旋线圈接地端(3)均与屏蔽层(10)采用焊接方式连接并接地；内螺旋线圈射频接入端(11)和外螺旋线圈射频接入端(4)均穿过屏蔽层(10)，并分别与设置在超高真空双面密封法兰(1)上的内螺旋线圈射频信号输入端(13-1)、外螺旋线圈射频信号输入端(13-2)连接，内螺旋线圈射频接入端(11)和外螺旋线圈射频接入端(4)与屏蔽层(10)之间均为电气绝缘。

2.如权利要求1所述的同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，其特征在于：

在超高真空双面密封法兰(1)朝向屏蔽层(10)的一侧，同轴安装有气体导管压环(2)，在气体导管压环(2)和超高真空双面密封法兰(1)中间利用○型圈进行密封；气体导管压环(2)的内径与气体导管(5)的外径相等，气体导管(5)穿过气体导管压环(2)。

3.如权利要求1或2所述的同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，其特征在于：

所述的内螺旋线圈(6)和外螺旋线圈(8)的线圈匝数相同。

4.如权利要求1或2所述的同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，其特征在于：

所述的内螺旋线圈(6)的线圈匝数少于外螺旋线圈(8)的线圈匝数。