[发明专利]保持工作台

说明书

本发明提供保持工作台，其构造简单且能够由装置进行自动更换。保持工作台包含：保持板，其具有对被加工物进行保持的保持面；以及基座，其将保持板安装为能够装卸。基座具有从上表面竖立设置的钩，在保持板的下表面上具有与钩卡合的凹部，将钩收纳于凹部并且使保持板与基座从在平面方向上倾斜地错开的状态向重合的位置关系绕轴心相对地进行旋转，从而使凹部与钩嵌合而将保持板固定于基座。

技术领域

本发明涉及对被加工物进行保持的保持工作台。

背景技术

利用切削刀具对例如封装基板那样的被加工物进行切削的切削装置有时利用保持工作台对被加工物进行保持，该保持工作台包含：保持板，其具有与封装基板的分割预定线对应的退刀槽和与各芯片对应的吸引口；以及基座，其以装卸自如的方式支承保持板。

退刀槽和吸引孔的位置等按照封装基板的每个种类而不同，因此当变更要切削加工的封装基板的种类时，保持工作台有时会变更保持板。以往，将保持板固定于基座的方法以真空(例如，参照专利文献1)、螺纹固定或弹子锁(也称为捕捉夹或拉锁)为主流。

专利文献1：日本特开2011-114145号公报

但是，如专利文献1所示，在利用真空对保持板进行固定的方法中，为了对保持板进行固定，另外需要吸引源，为了将负压传递到保持板，基座即保持工作台整体的构造变得复杂。另外，在利用真空对保持板进行固定的方法中，难以将用于传递负压的流路的截面积设为充分固定保持板所需的截面积。

另外，在利用螺纹固定和弹子锁对保持板进行固定的方法中，想要能够自动更换保持板是很困难的。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供构造简单且能够由装置进行自动更换的保持工作台。

根据本发明，提供一种保持工作台，其对被加工物进行保持，其特征在于，该保持工作台具有：保持板，其具有对被加工物进行保持的保持面；以及基座，其将该保持板安装为能够装卸，该基座具有从上表面竖立设置的钩，该保持板在下表面上具有与该钩卡合的凹部，将该钩收纳于该凹部并且使该保持板与该基座从在平面方向上倾斜地错开的状态向重合的位置关系相对地进行旋转，从而使该凹部与该钩嵌合而将该保持板固定于该基座。

优选的是，该钩具有：立设部，其从该基座的上表面竖立设置；以及卡定部，其沿与该立设部交叉的方向延伸，该凹部在与该保持面的延伸方向平行的平面方向的一端具有与该卡定部嵌合的嵌合部。

优选的是，该凹部形成在如下的部分：该部分相当于当使该保持板与该基座相对地进行旋转时该钩所接触的轨迹。

本发明起到如下的效果：能够将保持板充分地固定于切削装置，并且能够由装置进行保持板的自动更换。

附图说明

图1是示出具有本发明实施方式的保持工作台的切削装置的结构例的立体图。

图2是示出实施方式的保持工作台的结构的剖视图。

图3是将图2所示的保持工作台分解而示出的立体图。

图4是图2所示的保持工作台的俯视图。

图5是示意性地示出图2所示的保持工作台的保持板的俯视图。

图6是沿着图5中的VI-VI线的剖视图。

图7是示出图1所示的切削装置的保持板更换机构的搬送单元的结构的侧视图。

图8是将图1所示的切削装置的搬送单元所保持的被加工物的凹部的一端部定位于基座的钩的铅垂方向的上方的状态的侧视图。

图9是示出图8所示的保持板和基座的俯视图。

图10是将图8所示的保持板的下表面载置于基座的上表面的状态的侧视图。