[发明专利]一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置

权利要求书

1.一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上下内侧设置有缓冲层(2)，所述缓冲层(2)的内部设置有反应管(3)，所述反应管(3)的左侧设置有固定端(4)，所述固定端(4)的左侧设置有辅助杆(5)，所述反应管(3)的右侧设置有活动端(6)，所述活动端(6)的右侧设置有抽出支架(7)，所述固定端(4)与活动端(6)之间活动连接有靶棒(8)，所述靶棒(8)的正下方设置有丝杠(9)，所述反应管(3)内部的下底面正应丝杠(9)设置有稳定滑道(10)，所述稳定滑道(10)内设置有活动块(11)，所述活动块(11)的上端固定连接有限制套(12)，所述限制套(12)底部的中间设置有氧化喷嘴(13)，所述氧化喷嘴(13)的前后两侧设置有氢氧喷灯(14)，所述限制套(12)内部的顶部设置有测量器(15)，所述反应管(3)内部的顶部设置有尾气收集板(16)。

2.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述缓冲层(2)为具有隔热效果的多层隔板结构。

3.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述固定端(4)内设置有靶棒(8)的夹持及旋转机构。

4.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述活动块(11)底部与稳定滑道(10)适配，其内设置有分开的氢氧管路与反应物管路。

5.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述限制套(12)为管状结构，套接于靶棒(8)外部，其底部设置有连接氢氧喷灯(14)的管路。

6.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述氢氧喷灯(14)沿限制套(12)轴向在氧化喷嘴(13)两侧设置有两排，其安装密度因根据需要可进行调整。

7.根据权利要求1所述的一种外部气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于：所述尾气收集板(16)上端连出反应管(3)与尾气处理装置连接。