[发明专利]一种电极结构

说明书

本申请实施例公开了一种电极结构，包括：行波电极和屏蔽结构；所述行波电极位于所述屏蔽结构形成的半封闭空间内；其中，所述屏蔽结构包括第一部分屏蔽结构和第二部分屏蔽结构，所述第一部分屏蔽结构和所述第二部分屏蔽结构之间具有开口，从而形成半封闭空间。

技术领域

本申请涉及光通信技术领域，尤其涉及一种电极结构。

背景技术

在电光调制器和微波射频信号的传输场景中，需要保证信号传输线(即电极结构)具有较强的鲁棒性，即不受外界干扰。目前常用的差分电极结构、单端电极结构，由于存在部分没有金属地隔离和屏蔽的问题，导致此类电极结构容易受到外界结构和相邻通道的干扰而产生串扰、谐振等影响信号质量的问题。

目前主流的处理方案是在电极结构的两侧尽量不采用可能引起信号干扰的结构，如金属导线和电极等；还有一种处理方案是在存在多路信号的情况下保证多路信号之间的距离尽可能的大，以保证不会产生多路信号之间的串扰。但是，上述处理方案对芯片的布局和设计造成了很大的限制，导致某些为了保证可靠性的结构也无法设置在电极的周围，给芯片设计时的灵活性和后期使用时的可靠性带来了很大的隐患，极大地限制了电极结构的应用场景。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例为解决现有技术中存在的至少一个问题而提供一种电极结构。

为达到上述目的，本申请实施例的技术方案是这样实现的：

本申请实施例提供一种电极结构，包括：行波电极和屏蔽结构；所述行波电极位于所述屏蔽结构形成的半封闭空间内；

其中，所述屏蔽结构包括第一部分屏蔽结构和第二部分屏蔽结构，所述第一部分屏蔽结构和所述第二部分屏蔽结构之间具有开口，从而形成半封闭空间。

在一种可选的实施方式中，所述第一部分屏蔽结构包括第一侧面屏蔽结构和第一顶面屏蔽结构；所述第二部分屏蔽结构包括第二侧面屏蔽结构和第二顶面屏蔽结构；

其中，所述第一侧面屏蔽结构和所述第一顶面屏蔽结构连接于第一交界线，所述第二侧面屏蔽结构和所述第二顶面屏蔽结构连接于第二交界线，所述第一顶面屏蔽结构和所述第二顶面屏蔽结构之间具有所述开口。

在一种可选的实施方式中，所述第一侧面屏蔽结构所在的平面与所述第一顶面屏蔽结构所在的平面之间的夹角呈第一角度，所述第二侧面屏蔽结构所在的平面与所述第二顶面屏蔽结构所在的平面之间的夹角呈第二角度，所述第一角度和所述第二角度相等。

在一种可选的实施方式中，所述第一角度和所述第二角度均大于或等于90度。

在一种可选的实施方式中，所述第一侧面屏蔽结构所在的平面和所述第二侧面屏蔽结构所在的平面平行。

在一种可选的实施方式中，所述行波电极所在的轴线与所述第一交界线和所述第二交界线平行。

在一种可选的实施方式中，所述行波电极所在的轴线与所述第一侧面屏蔽结构所在的平面之间的距离为第一距离，所述行波电极所在的轴线与所述第二侧面屏蔽结构所在的平面之间的距离为第二距离，所述第一距离与所述第二距离相等。

在一种可选的实施方式中，所述第一侧面屏蔽结构和所述第二侧面屏蔽结构位于所述行波电极的不同侧，所述第一顶面屏蔽结构和所述第二顶面屏蔽结构位于所述行波电极的同一侧。

在一种可选的实施方式中，所述第一侧面屏蔽结构包括金属片结构和由多根呈间隔设置的金属柱组成的结构；

所述第二侧面屏蔽结构包括金属片结构和由多根呈间隔设置的金属柱组成的结构。

在一种可选的实施方式中，所述第一顶面屏蔽结构包括金属片结构和呈栅格结构的金属片结构；

所述第二顶面屏蔽结构包括金属片结构和呈栅格结构的金属片结构。