[发明专利]一种PERC电池背面钝化工艺

权利要求书

1.一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将预处理后的硅片背面朝上放在载板上，然后放进ALD设备的进料腔中并抽真空到3-5mbar；

(2)将步骤(1)的载板传送至预热腔加热至120-140℃，预热20-30min完毕；

(3)调节ALD设备的工艺腔温度至240-260℃，并将预热完毕后的载板传送至工艺腔内并控制铝源和水源的流量及比例来进行背面钝化处理；

其中，步骤(3)重复两次；其中，控制铝源的流量为240-280sccm，水源的流量为300-400sccm，控制水源和铝源的比例为(3-4):1。

2.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，步骤(1)中，所述预处理的步骤为：

11)将单晶硅片制绒，制绒后其反射率控制在9-12；

12)制绒完毕后进行扩散，扩散后其正面方阻控制在100-150Ω/□；

13)采用SE激光推进，推进后其正面方阻控制在70-80Ω/□；

14)刻蚀，刻蚀后其反射率控制在26-30；

15)刻蚀后进行热氧氧化，完成预处理。

3.根据权利要求2所述的一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，步骤11)所述反射率控制在10-11；步骤12)所述正面方阻控制在110-140Ω/□；步骤13)所述正面方阻控制在75Ω/□。

4.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，步骤(3)中的具体操作为：

31)调节ALD设备中工艺腔的温度至240-260℃，并将预热完毕后的载板传送至工艺腔Ⅰ内摇摆载板上，并控制铝源的流量为240-280sccm及水源的流量为300-400sccm；

32)再传送至工艺腔Ⅱ内摇摆载板上，并控制铝源的流量为240-280sccm及水源的流量为300-400sccm。

5.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，还包括步骤(4)，具体为：将钝化处理后的载板传送至出料腔中，其中出料腔内压力为1013.25mbar，将载板送出并收集硅片。

6.根据权利要求5所述的一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，所述出料腔中的压力为3-5mbar。