[发明专利]一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法在审
| 申请号： | 202011451790.7 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112676286A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 邹专政;惠朝先;邱俊;吕先锋;陈运友 | 申请（专利权）人： | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/22 | 分类号： | B08B9/22;B08B9/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 林淡如 |
| 地址： | 641000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 parylene 盛装 清洗 方法 | ||
1.一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤10、一次浸泡：将待清洗的料囊放入丙酮中浸泡，待去除料囊铜箔纸即可完成一次浸泡；
步骤20、二次浸泡：将步骤10中完成一次浸泡的料囊放入甲苯与二氯苯混合溶液中浸泡，待去除料囊Parylene-C材料即可完成二次浸泡；
步骤30、漂洗：将步骤20中完成二次清洗的料囊用丙酮进行漂洗；
步骤40、无尘室纯水超声波清洗:将步骤30中经漂洗的料囊送入无尘室进行超声波纯水清洗，超声波纯水清洗过程中，超声波功率为1200±100W，超声波能量密度为15w/inch2-20w/inch2；
步骤50、无尘干燥：将步骤40中经过无尘超声波纯水清洗的料囊在无尘室进行干燥，即可完成料囊的清洗。
2.根据权利要求1所述的一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，步骤10中，所述浸泡时间为2h-4h。
3.根据权利要求1所述的一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，步骤20中，所述浸泡至去膜为止，可更换新液重复浸泡。
4.根据权利要求1所述的一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，步骤30中，所述漂洗时间为10min。
5.根据权利要求1所述的一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，步骤50中，所述干燥方式为烘烤。
6.根据权利要求1所述的一种Parylene-C盛装料囊的清洗方法，其特征在于，步骤50中，所述干燥温度为150℃。
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