[发明专利]一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器

权利要求书

1.一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器,其特征在于：包括一体式推拉结构元件(1)，一体式推拉结构元件(1)连接有两个石英双端固支音叉(4)，一体式推拉结构元件(1)上部及两个石英双端固支音叉(4)外部连接有上盖帽(2)形成上腔室，真空封装；一体式推拉结构元件(1)下部连接有下盖板(3)形成下腔室，下腔室为PCB安装腔室，普通密封；所述的一体式推拉结构元件(1)为一体化加工，包括固定框架(1b)，固定框架(1b)内部连接有柔性框架(1a)，柔性框架(1a)上通过中心块(1f)连接有两个石英双端固支音叉(4)，固定框架(1b)下方设有PCB安装腔室，通过玻璃烧结孔(1e)烧结金柱完成PCB安装腔室和柔性框架(1a)上安装的两个石英双端固支音叉(4)之间的电气连接；PCB安装腔室中部设有待测压力通道(1d)，待测压力通道(1d)通过推杆(1c)和柔性框架(1a)连接；

所述的柔性框架(1a)通过中心块(1f)在第一对准安装槽(1a-1)和第二对准安装槽(1a-2)处对称地安装两个石英双端固支音叉(4)，形成差动输出。

2.根据权利要求1所述的一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器,其特征在于：两个石英双端固支音叉(4)安装于柔性框架(1a)的中轴线上，上下左右对称安装；柔性框架(1a)与固定框架(1b)沿轴线上下两部分隔离，只通过中心块(1f)两侧的结构相连。