[发明专利]一种多工位切片机

说明书

本发明公开一种多工位切片机，包括至少两个用于切片的切割区总成、用于提供切割液的切割供液组件、用于给切割液降温的切割液换热组件以及用于给切片机设备降温的冷却液换热组件，每个切割区总成对应设置一个切割液换热组件，多个切割区总成共用一个冷却液换热组件。通过设置多个切割区总成，即多个切割区，可将切片机的切割能力提高1倍以上，不仅提高了产能，实现单位面积产能翻倍，还能提高厂房空间的利用率；同时，通过设置切割供液组件、切割液换热组件、冷却液换热组件和油气总成配合切割区总成完成切割，可实现高效、高质量的硬脆材料切割。

技术领域

本发明属于硅棒切片领域，具体地说涉及一种多工位切片机。

背景技术

硅片成形是指将硅棒制成硅晶片的工艺过程，目前，采用多线切割法进行切片最为普遍。在实际生产过程中，切片机往往只有一个切割区总成，即一个切割区，一个切割区只能形成一个切割工位，这就造成一个切割周期只能对单个切割工位上的硬脆材料进行切割，严重限制了切片机的切割能力和效率；通过增加切片机的数量来提高切割能力和效率，又会带来占用更多厂房用地面积的难题，很多企业由于不能扩大厂房面积而不能实现扩大生产规模；增加切片机的数量还意味着增加设备资金的投入，对于高价格的切片机来说，也是企业不容易实现生产规模扩大的因素；切片机的换热功能的实现需要众多管路进行循环流动，而现有设备管路较为分散，不利于管理；现有切片机都是一个切割工位对应一套切割液的供液、换热组件，一旦切割液的供液、换热组件出现故障，将直接导致硅棒等硬脆材料受损，不但影响切割质量，还损失高成本的硅棒原材料，同时停工停产也会使企业生产效率降低；现有切片机通常需要专业技术人员进行长达几周的现场安装工作，不利于服务远距离客户，且对安装人员的技术水平要求较高，因而人员成本也较高。

因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种多工位切片机。本发明提供如下技术方案：

一种多工位切片机，包括至少两个用于切片的切割区总成、用于提供切割液的切割供液组件、用于给切割液降温的切割液换热组件以及用于给切片机设备降温的冷却液换热组件，每个切割区总成对应设置一个切割液换热组件，多个切割区总成共用一个冷却液换热组件。

进一步的，各切割区总成呈中心对称或左右对称排布。

进一步的，多工位切片机为包括两切割区总成的双工位切片机，两切割区总成左右对称排布，切割供液组件、切割液换热组件、冷却液换热组件和电气总成位于两切割区总成的中间位置。

进一步的，所述电气总成包括集中设置于一侧的电控柜或者基于两切割区总成分别设置于两侧的电控柜。

进一步的，所述切割供液组件包括用于存放切割液的切割供液缸和用于泵送切割液到切割区总成的供液泵，供液泵将切割供液缸内的切割液泵送到各切割区总成。

进一步的，所述切割液换热组件包括用于过滤泵送切割液的过滤桶以及用于给切割液降温的切割液换热器，切割液先经过滤桶过滤后流入切割液换热器内降温，再输送到各切割区。

进一步的，所述冷却液换热组件包括用于存放冷却液的冷却液水箱、用于泵送冷却液的冷却液泵和用于给冷却液降温的冷却液换热器，流经切割区总成设备的冷却液经冷却液换热器冷却后流回冷却液水箱。

进一步的，所述冷却液泵和冷却液换热器均设置于冷却液水箱上方。

进一步的，各切割区总成通过同一连接结构实现物理连接，切割供液组件、切割液换热组件、冷却液换热组件通过连接结构与各切割区总成连接为一整体。

进一步的，各切割区总成可拆卸地连接于连接结构上，连接结构上设置有用于连接各切割区总成的连接位点，同时连接结构上还设有连接更多切割区总成的预留连接位点。

进一步的，所述连接结构为连接横梁或连接框架。