[发明专利]鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法

权利要求书

1.一种鎓盐化合物，由以下式(1)表示；

式中，R¹及R²各自独立地为氢原子、羟基或碳数1～12的烃基，该烃基中的氢原子亦可经含杂原子的基团取代，该烃基中的-CH₂-亦可经-O-或-C(＝O)-取代；又，R¹及R²亦可彼此键结并与它们所键结的碳原子一起形成环；

R^f1及R^f2各自独立地为氢原子、氟原子或三氟甲基，但是，至少其中一者为氟原子或三氟甲基；

L¹为单键或碳数1～15的亚烃基，该亚烃基中的-CH₂-亦可经-O-或-C(＝O)-取代；

L²为单键、醚键或酯键；

L¹及L²均为单键时，R²为羟基、烃基氧基或烃基羰基氧基；

Ar为碳数3～15的(n+1)价芳香族基团，该芳香族基团的一部分或全部的氢原子亦可被取代基取代；所述取代基为氟原子、羟基或碳数1～10的烃基，所述烃基的-CH₂-亦可经O-或-C(＝O)取代，此外，所述烃基中的-CH₂-亦可键结于所述芳香族基团；

n为符合1≤n≤5的整数；

M⁺为锍阳离子或錪阳离子。

2.根据权利要求1所述的鎓盐化合物，由以下式(2)表示；

式中，M⁺与前述相同；

n及m为符合1≤n≤5、0≤m≤4及1≤n+m≤5的整数；

R³为氢原子或亦可含有杂原子的碳数1～10的烃基；

R⁴为氟原子、羟基或碳数1～10的烃基，该烃基中的-CH₂-亦可经-O-或-C(＝O)-取代；m为2以上时，各R⁴彼此可相同也可不同，2个R⁴亦可彼此键结并与它们所键结的苯环上的碳原子一起形成环；

L³为单键、醚键或酯键；

L⁴为单键、或碳数1～10的亚烃基。

3.根据权利要求2所述的鎓盐化合物，其中，R³为氢原子、异丙基、金刚烷基、苯基、4-氟苯基、4-三氟甲基苯基、4-碘苯基或4-甲氧基苯基。

4.根据权利要求2或3所述的鎓盐化合物，其中，L³及L⁴为单键。