[发明专利]一种用于双光束及多光束三维重合对准的方法

权利要求书

1.一种用于双光束以及多光束三维重合对准的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

①设置双光束以及多光束对准系统：发射第一光束并调整光束位置,使所述第一光束依次经过第一二向色镜、第二二向色镜、第三二向色镜和物镜后达到荧光聚合材料内部，并通过所述第一光束与材料内部行成聚合反应；发射第二光束或多光束，通过相机观察调节所述第二光束所对应的二向色镜或所述多光束所对应的二向色镜的位置，使得所述第二光束或所述多光束与所述第一光束与材料产生的聚合点在轴向重合，再通过调节第二光束或多束光对应的透镜位置使得探测单元探测到最强的荧光，使得光束纵向重合；第一光束与荧光聚合材料在焦点处形成荧光聚合点，定位第一光束的三维位置信息；

②通过第二光束或者多光束激发所述的荧光聚合点；

③调节第二光束或者多光束所对应的二向色镜的位置，至探测单元探测到的最强荧光信号处。

2.根据权利要求1所述的用于双光束以及多光束三维重合对准的方法，其特征在于，所述第一光束与荧光聚合材料表面或内部发生反应聚合反应，定位第一光束的三维位置信息。

3.根据权利要求1所述的用于双光束以及多光束三维重合对准的方法，其特征在于，所述第二光束或所述多光束激发所述荧光聚合点产生荧光，所产生荧光的方式是上转换发光或下转换发光。