[发明专利]隔挡部件及基板处理装置

权利要求书

1.一种隔挡部件，包括：

内圈部；

外圈部，相对于所述内圈部设置在外侧；以及

连接部，将所述内圈部与所述外圈部连接，

其中，所述连接部具有：

圆弧形状的开口，在径向和周向上布置有多个，并且在所述周向上延伸；

刚体部，形成于在相同周圈上相邻的所述开口之间；以及

壁部，形成于在所述径向上相邻的所述开口之间，并且将一个所述刚体部与另一个所述刚体部连接。

2.根据权利要求1所述的隔挡部件，其中，

所述刚体部的周向宽度越靠近所述径向的外侧越宽。

3.根据权利要求1或2所述的隔挡部件，其中，

所述壁部的周向长度相等。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的隔挡部件，其中，

当在所述周向上观察时，布置在相同周圈上的所述开口的间距与布置在相邻的相同周圈上的所述开口的间距布置成错开半个间距。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的隔挡部件，其中，

当所述内圈部与所述外圈部在高度方向上错开时，所述壁部在扭转方向上变形。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的隔挡部件，其中，

所述刚体部具有孔部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的隔挡部件，其中，

所述壁部的剖面形状为长方形。

8.根据权利要求7所述的隔挡部件，其中，

所述壁部的剖面形状的纵横比为1以上。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的隔挡部件，其中，

所述内圈部、所述外圈部以及所述连接部一体地形成。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的隔挡部件，其中，

所述内圈部、所述外圈部以及所述连接部由Si或SiC形成。

11.一种基板处理装置，包括根据权利要求1至10中任一项所述的隔挡部件。