[发明专利]使用一片散热器实现半导体功率模块双面散热的方法有效
申请号: | 202011458733.1 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112687553B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 雷光寅;范志斌;邹强 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/367;H01L23/473 |
代理公司: | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人: | 林佳纯 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 一片 散热器 实现 半导体 功率 模块 双面 散热 方法 | ||
1.使用一片散热器实现半导体功率模块双面散热的方法,其特征在于,在基于塑封功率模块的同时,把散热器的两层水道预先封装在功率模块内部,使得功率模块能够通过一片散热器即可实现双面散热的效果,具体步骤如下:
(1)在半导体功率模块注塑前,在功率模块上表面预留水道空间;
(2)在注塑过程中,把功率模块上表面的水道空间引导至功率模块下表面,与功率模块下表面共面;
(3)将功率模块下表面安装至一片散热器上,通过水道设计将冷却液同时引入到功率模块上下表面,实现功率模块双面散热。
2.根据权利要求1所述使用一片散热器实现半导体功率模块双面散热的方法,其特征在于,所述水道通过O型圈、钢垫片进行密封。
3.根据权利要求1所述使用一片散热器实现半导体功率模块双面散热的方法,其特征在于,所述水道采用铝或者铜为基本材料,高度为1-10毫米,内部为空洞,或者包含内置针翅以增加与冷却触媒的接触面积。
4.根据权利要求1所述使用一片散热器实现半导体功率模块双面散热的方法,其特征在于,水道与散热器的接触开口尺寸依据半导体功率模块大小而改变,长度在3-100毫米之间,宽度范围在1-50毫米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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