[发明专利]基于加热面凹坑测试的反馈控制系统和方法有效
| 申请号： | 202011462675.X | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112522675B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 朱佳敏;高中赫;陈思侃;赵跃;张智巍;吴蔚;刘杰;丁逸珺;常同旭 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 加热 面凹坑 测试 反馈 控制系统 方法 | ||
1.一种基于加热面凹坑测试的反馈控制系统，其特征在于，包括：测距仪（1）、驱动机构（2）和加热装置；
所述测距仪（1）驱动连接在所述驱动机构（2）上；
所述加热装置设置于所述测距仪（1）的检测范围内；
所述测距仪（1）检测所述加热装置上的多个台阶面的弧度以及两两台阶面之间的缝隙宽度、缝隙深度；
所述反馈控制系统根据检测结果判断是否需要对所述加热装置进行维护；
根据检测出加热装置每个台阶面的弧度，得到影响带材宽度方向的导热温度梯度，作为带材镀膜时的温度控制参数；
根据检测结果判断是否需要对所述加热装置进行维护的方法包括：
根据缝隙的宽度、深度、加热装置每个的台阶面弧度，决定是否更换加热装置；
或根据检测得到的轮廓与上一次加热装置去膜维护后检测的轮廓做差法，根据差值估计所述加热装置上镀膜膜层厚度，根据所述镀膜膜层厚度判断是否需要对所述加热装置进行去膜；
或根据检测得到的缝隙深度判断是否需要对所述加热装置进行去膜；
所述驱动机构（2）包括带驱动电机的导轨，所述测距仪（1）通过测距仪支架（7）安装在所述驱动机构（2）上；
所述加热装置包括加热滚筒（3）或加热板（4）；
所述加热滚筒（3）或所述加热板（4）安装在定位支架上；
所述驱动机构（2）和所述加热装置分别安装在底座（5）上。
2.一种基于加热面凹坑测试的反馈控制方法，其特征在于，根据权利要求1所述的基于加热面凹坑测试的反馈控制系统：
检测加热装置上的多个台阶面的弧度以及两两台阶面之间的缝隙宽度、缝隙深度；
反馈控制系统根据检测结果判断是否需要对所述加热装置进行维护。
3.根据权利要求2所述的基于加热面凹坑测试的反馈控制方法，其特征在于，根据检测结果判断是否需要对所述加热装置进行维护的方法包括：
根据检测出加热装置每个台阶面的弧度，得到影响带材宽度方向的导热温度梯度此参数作为带材镀膜时的温度控制参数；
根据缝隙的宽度、深度、加热装置每个的台阶面弧度，决定是否更换加热器；
根据检测得到的轮廓与上一次加热装置去膜维护后检测的轮廓做差法，根据差值估计所述加热装置上镀膜膜层厚度，根据所述镀膜膜层厚度判断是否需要对所述加热装置进行去膜；
根据检测得到的缝隙深度判断是否需要对所述加热装置进行去膜。
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