[发明专利]一种多能场辅助化学机械抛光装备

说明书

本发明公开了一种多能场辅助化学机械抛光装备，包括机壳、旋转系统组件、上下移动系统组件、主轴系统、容器、加热模块、超声振动模块、控制系统及升降平台，所述机壳内设有一隔板，旋转系统组件、上下移动系统组件和主轴系统通过隔板连接固定，升降平台固定在机壳内底板上，超声振动模块安装在升降平台上，容器放置固定在超声振动模块上，加热模块贴合固定在容器壁上，控制系统可控制装备的旋转运动、上下移动、超声振动及加热等参数。本发明设计的装备通过进行单独的旋转运动、上下移动或两者的耦合运动，同时进行加热和超声振动，可实现工件尤其是复杂结构件的多能场辅助化学机械抛光。

技术领域

本发明属于机械加工设备技术领域，涉及一种多能场辅助化学机械抛光装备。

背景技术

化学机械抛光是利用抛光液的化学腐蚀与磨粒的机械去除耦合作用，获得超光滑表面的一种工艺，但目前抛光设备通常只能抛光平面小零件，无法对复杂构件进行抛光。类似叶片、轮毂等零件均属于复杂结构件，表面均需进行抛光，目前主要采用人工抛光，人工抛光效率低，无法保证抛光表面质量的均一性，抛光成本高，且不利于操作者身体健康。

当前的抛光设备通常具有一个可旋转的研磨盘，零件通过载物块压在研磨盘上，进行抛光，抛光过程中持续的滴加抛光液，但该抛光设备只能进行平面小零件的抛光，无法实现复杂结构件的抛光，此外，现有的抛光设备不具备超声振动和加热模块，抛光效率低，为此本发明提出了一种可对复杂结构件进行高质高效抛光的装备，即多能场辅助化学机械抛光装备。

发明内容

本发明的目的是提供一种可对工件尤其是复杂结构件进行高质高效化学机械抛光的装备，为此提出一种多能场辅助化学机械抛光装备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种多能场辅助化学机械抛光装备，包括：机壳、旋转系统组件、上下移动系统组件、主轴系统、容器、加热模块、超声振动模块、升降平台及控制系统，其中机壳内设有一水平隔板，旋转系统组件、上下移动系统组件和主轴系统通过隔板连接固定，升降平台固定在机壳内底板上，超声振动模块安装在升降平台上，容器放置固定在超声振动模块上，加热模块贴合固定在容器壁上，控制系统与旋转系统组件、上下移动系统组件、主轴系统、加热模块、超声振动模块和升降平台连接，控制调节装备的旋转运动、上下移动、超声振动及加热温度等参数，控制系统操作面板安装在机壳一侧面上；

优选的，所述机壳整体呈长方体形，设有一可开关的门，门上设有一透明的区域，该透明区域可以观察设备内部零件抛光过程；另外机壳内设有一隔板，隔板上设有两个阶梯通孔和一长方形通孔；

优选的，所述旋转系统组件包括第一电机、第一轴承模块、第一皮带轮、皮带、第二皮带轮、第二轴承模块；其中，第一轴承模块和第二轴承模块分别安装在隔板的两阶梯通孔上，第一轴承模块用于配合第一电机轴，第二轴承模块用于配合主轴系统的转轴；第一电机垂直安装在隔板的下方，第一电机的轴通过第一轴承模块垂直向上且与第一皮带轮连接；第二皮带轮与主轴系统的转轴连接固定，并通过皮带与第一皮带轮连接，在第一电机的驱动下即可实现主轴系统的旋转运动；

优选的，所述上下移动系统组件包括第二电机、第一连接板、第二连接板、连接轴；其中，第二电机水平安装在隔板上，第二电机轴与第一连接板一端固定连接，第一连接板的另一端穿过隔板上的长方形通孔与第二连接板通过轴承连接，两连接板间可发生相对转动，第二连接板另一端与连接轴的一端通过轴承连接，连接轴与第二连接板间可进行相对转动，连接轴的另一端设有螺纹且与主轴系统的第一套筒连接固定，在第二电机的驱动下即可实现主轴系统的上下移动；