[发明专利]光学元件单元

说明书

本发明提供光学元件单元，即使在使用现有的固定器具的情况下也能够高精度地构建光学系统。光学元件单元包含：反射型的光学元件；以及支承体，其对光学元件进行支承，在将光学元件配置于光学系统的规定的位置时，利用固定器具固定该支承体。通过利用固定器具固定支承体，与利用固定器具直接固定光学元件的情况相比，缓和产生于光学元件的变形。

技术领域

本发明涉及包含以反射镜为代表的反射型的光学元件的光学元件单元。

背景技术

在将以半导体晶片为代表的板状的被加工物分割成多个芯片时，有时使用包含激光振荡器、反射镜或透镜等光学元件的激光加工装置(例如，参照专利文献1)。通过各种光学元件将由激光振荡器产生的激光束照射到作为芯片的边界的被加工物的间隔道(分割预定线)，从而能够利用间隔道将该被加工物分割成多个芯片。

专利文献1：日本特开2007-275912号公报

另外，在构建上述激光加工装置的光学系统时，例如大多使用能够固定光学元件的固定器具(保持架)来将光学元件配置于光学系统的规定的位置。但是，当利用固定器具对光学元件进行固定时，有时光学元件因从固定器具施加于光学元件的应力而变形，激光束的波面的形状脱离容许的范围。

在该情况下，例如像散像差变大，激光加工装置的加工精度降低。另外，该问题在利用固定器具对以反射镜为代表的反射型的光学元件进行固定的情况下尤其严重。这是因为，反射型的光学元件与透过型的光学元件相比容易受到变形的影响。

另外，在该方法中，难以使从固定器具施加于光学元件的应力在多个激光加工装置之间相等，激光加工装置之间的加工精度容易产生差异。为了解决这样的问题，例如可以考虑根据利用固定器具固定光学元件时的螺钉的紧固扭矩等来管理施加于光学元件的应力。但是，由于固定器具存在个体差异，因此即使以相同的紧固扭矩等对光学元件进行固定，光学元件的变形也不一定相等。

也可以考虑在利用固定器具固定了光学元件之后测量其变形。但是，该方法在变形的测量中需要大量的时间，另一方面，无法从根本上抑制由变形引起的问题的发生。如果采用较大的光学元件，则能够相对地减小变形的影响，但在该情况下，激光加工装置容易大型化。而且，在改良现有的激光加工装置的光学系统时不容易采用较大的光学元件。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供光学元件单元，即使在使用现有的固定器具的情况下也能够高精度地构建光学系统。

根据本发明的一个方面，提供一种光学元件单元，该光学元件单元包含：反射型的光学元件；以及支承体，其对该光学元件进行支承，在将该光学元件配置于光学系统的规定的位置时，利用固定器具固定该支承体，通过利用该固定器具固定该支承体，与利用该固定器具直接固定该光学元件的情况相比，缓和产生于该光学元件的变形。

在本发明的一个方面中，优选的是，该支承体具有：第1面；与该第1面相反的一侧的第2面；以及收纳部，其在该第1面和该第2面的一方或双方开口，收纳并支承该光学元件的一部分或全部。

另外，在本发明的一个方面中，优选的是，该光学元件经由粘接剂而被该支承体支承。

另外，在本发明的一个方面中，优选的是，该光学元件经由弹性部件而被该支承体支承。

另外，在本发明的一个方面中，优选的是，该支承体由从铝、不锈钢、因瓦合金、可伐合金、陶瓷以及氟系树脂中选择的一种或多种材料构成。

本发明的一个方面的光学元件单元包含在将反射型的光学元件配置于光学系统的规定的位置时利用固定器具进行固定的支承体，通过该支承体对光学元件进行支承。即，光学元件不被固定器具直接固定，因此也不会因从该固定器具作用的应力等而在光学元件上产生较大的变形。因此，通过使用本发明的一个方面的光学元件单元，能够使用现有的固定器具并且高精度地构建光学系统。

附图说明