[发明专利]一种激光光路系统及其加工柔性线路板的方法

权利要求书

1.一种激光光路系统，其特征在于：包括有激光器(1)，在所述激光器(1)的输出端设有用于分光的声光偏转器(2)，被声光偏转器(2)分成两束的激光分别经过变倍扩束镜(3)和半波片(4)后又经偏振合束镜(5)合成一束，在偏振合束镜(5)的输出端依次设有振镜扫描系统(10)和聚焦透镜(6)。

2.根据权利要求1所述的激光光路系统，其特征在于：所述变倍扩束镜(3)为电动的变倍扩束镜。

3.根据权利要求1所述的激光光路系统，其特征在于：在所述激光器(1)上设有用于控制激光开光的光闸(7)。

4.根据权利要求1所述的激光光路系统，其特征在于：所述声光偏转器(2)的频率为100M以上。

5.一种采用权利要求1至4任一项所述激光光路系统加工柔性线路板的方法，其特征在于：所述激光器(1)发出的激光为线偏振光，该激光经过声光偏转器(2)被分成两束光路，第一束光路经过变倍扩束镜(3)后改变了焦点位置，第二束光路经过半波片(4)，偏振方向会旋转90度，第一束光路和第二束光路经偏振合束镜(5)合束，最后依次经镜扫描系统(10)和聚焦透镜(6)射出用于加工样品；

加工时，所述声光偏转器(2)摆动至第二束光路，从聚焦透镜(6)射出的是正焦激光，在柔性线路板的待加工孔位上加工出第一孔(8)；然后声光偏转器(2)立即切换摆动至第一束光路，从聚焦透镜(6)射出的是离焦激光，进一步将第一孔(8)加工成第二孔(9)，即为所需的盲孔；

用正焦激光和离焦激光连续加工完该孔位后，移动柔性线路板，继续加工另一个孔位，直到加工完所有的孔位。