[发明专利]一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法在审
申请号: | 202011467049.X | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN112582501A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 徐晓斌;朱腾骏;李艳苹;潘长亮 | 申请(专利权)人: | 张家港博佑光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人: | 杨春女 |
地址: | 215600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 rena 多晶 加工 方法 | ||
1.一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,包括悬挂输送工位(1)、电池输送工位(8)、硅氧化工位(9)、二氧化硅溶解工位(11)、成品输送工位(14)、升降气缸(12)以及真空吸盘(21),所述电池输送工位(8)、硅氧化工位(9)、二氧化硅溶解工位(11)以及成品输送工位(14)均位于悬挂输送工位(1)下方,且悬挂输送工位(1)下侧连接有升降气缸(12),所述升降气缸(12)底端固定连接有真空吸盘(21),其特征在于:包括以下制备步骤:
步骤1,将未进行多晶制绒的电池放置在电池输送工位(8)上,然后通过悬挂输送工位(1)对升降气缸(12)以及真空吸盘(21)进行输送,在真空吸盘(21)移动到电池上方时,通过真空吸盘(21)对电池进行吸附固定;
步骤2,通过悬挂输送工位(1)将升降气缸(12)以及电池输送到硅氧化工位(9),并通过升降气缸(12)带动电池向下移动,进而实现了将电池与硅氧化工位(9)内的硝酸以及亚硝酸进行反应,从而将硅氧化成二氧化硅;
步骤3,通过悬挂输送工位(1)继续对电池进行输送,并通过第一吸收工位(10)对电池表面上附着的硝酸以及亚硝酸溶液进行吸收;
步骤4,通过悬挂输送工位(1)继续对电池进行输送,在电池移动到二氧化硅溶解工位(11)上方时,通过升降气缸(12)带动电池向下移动,从而将电池与二氧化硅溶解工位(11)内的氢氟酸反应,从而将二氧化硅溶解,并从新露出硅;
步骤5,通过悬挂输送工位(1)继续对电池进行输送,并通过第二吸收工位(13)对电池表面上附着的氢氟酸溶液进行吸收;
步骤6,通过悬挂输送工位(1)继续对电池进行输送,在电池移动到成品输送工位(14)上方,随后运行升降气缸(12),从而带动真空吸盘(21)以及电池向下移动,在电池与成品输送工位(14)相接触后,真空吸盘(21)与电池相分离,并对升降气缸(12)进行复位,然后通过成品输送工位(14)对电池进行输送。
2.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述悬挂输送工位(1)下侧面固定连接有第一红外接收器(2)、第二红外接收器(3)、第三红外接收器(4)、第四红外接收器(5)、第五红外接收器(6)以及第六红外接收器(7),所述第一红外接收器(2)位于电池输送工位(8)上方,所述第二红外接收器(3)位于硅氧化工位(9)上方,所述第三红外接收器(4)位于第一吸收工位(10)上方,所述第四红外接收器(5)位于二氧化硅溶解工位(11)上方,所述第五红外接收器(6)位于第二吸收工位(13)上方,所述第六红外接收器(7)位于成品输送工位(14)上方。
3.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述升降气缸(12)上套接固定有固定板,所述固定板上镶嵌固定有第一红外发射器(20)。
4.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述电池输送工位(8)上侧面左右对称固定连接有两个连接块,所述左侧的连接块右侧面固定连接有第七红外接收器(25),所述右侧的连接块左侧面固定连接有第二红外发射器(24)。
5.根据权利要求4所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述电池输送工位(8)以及成品输送工位(14)外侧面均固定连接有定位座(23)。
6.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述第一吸收工位(10)以及第二吸收工位(13)外侧面均粘接固定有吸水棉垫(22)。
7.根据权利要求1所述的一种硅太阳能电池RENA多晶制绒加工方法,其特征在于:所述硅氧化工位(9)以及二氧化硅溶解工位(11)上侧面均固定连接有液位测量传感器(17)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的