[发明专利]一种取样装置在审
申请号: | 202011471588.0 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN112683586A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 李在桓 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
主分类号: | G01N1/10 | 分类号: | G01N1/10;B08B3/02;B08B9/093;B08B13/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 胡影;李红标 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 取样 装置 | ||
1.一种取样装置,其特征在于,包括:
箱体,所述箱体内限定有第一腔室和第二腔室,所述第一腔室与所述第二腔室连通;
取样结构,所述取样结构设置于所述第一腔室中;
机械臂,所述机械臂上设有夹爪,所述夹爪在所述第一腔室与所述第二腔室中可移动;
清洗结构,所述清洗结构设在所述第二腔室中。
2.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述箱体上设有挡板,所述挡板在第一位置与第二位置之间移动,当所述挡板位于所述第一位置时,所述挡板隔断所述第一腔室与所述第二腔室;当所述挡板位于所述第二位置时,所述第一腔室与所述第二腔室连通。
3.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述取样结构包括取样管,所述取样管可活动。
4.根据权利要求3所述的取样装置,其特征在于,所述取样管上设有调节阀以导通或关闭所述取样管。
5.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述箱体的底部设有承载板,所述承载板与所述箱体的底壁间隔开,所述承载板上设有通孔。
6.根据权利要求5所述的取样装置,其特征在于,所述清洗结构包括至少一个喷嘴,所述喷嘴位于所述承载板的上方。
7.根据权利要求1或5所述的取样装置,其特征在于,所述箱体的底壁上设有排出口。
8.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述夹爪围绕第一轴线可旋转,所述第一轴线与所述箱体的底壁垂直。
9.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述夹爪沿上下方向可移动。
10.根据权利要求1所述的取样装置,其特征在于,所述机械臂包括第一机械臂和第二机械臂,所述第二机械臂设在所述第一机械臂上,所述第二机械臂的至少部分可在所述第一腔室与所述第二腔室中移动,所述夹爪设在所述第二机械臂上。
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