[发明专利]一种反脊型铝镓砷波导及其方法

权利要求书

1.一种用于产生高相干倍频程中红外超连续谱及频率梳的反脊型铝镓砷波导，其特征在于，包括：导波层和衬底；所述导波层材料为Al_0.18Ga_0.82As，所述衬底材料为Al_0.8Ga_0.2As；

所述Al_0.18Ga_0.82As导波层宽度为W；

所述Al_0.18Ga_0.82As导波层部分嵌入Al_0.8Ga_0.2As衬底，部分未嵌入Al_0.8Ga_0.2As衬底，嵌入衬底部分高度为H_d，未嵌入衬底部分高度为H_u；

所述铝镓砷波导的长度为3mm，所述Al_0.18Ga_0.82As导波层宽度为W为6μm，所述未嵌入衬底部分高度为H_u为0.7μm，所述嵌入衬底部分高度为H_d为1.4μm。

2.根据权利要求1所述的铝镓砷波导，其特征在于，所述的铝镓砷波导是具有3个零色散点的反脊型波导，其中，所述3个零色散点分别为3.74μm，6.56μm和8.89μm；3个零色散点将色散区域分为了四个部分，分别是从0至3.74μm的正常色散区，3.74μm到6.56μm的反常色散区，6.56μm到8.89μm的正常色散区，以及8.89μm往后的反常色散区。

3.根据权利要求1所述的铝镓砷波导，其特征在于，所述反脊型铝镓砷波导在4.9μm处的非线性系数能为2.09W^-1m^-1。

4.一种利用权利要求1-3任一所述的反脊型铝镓砷波导产生高相干倍频程中红外超连续谱及频率梳的方法，其特征在于包括：

将50个重复频率为100MHz的无啁啾双曲正割脉冲序列注入所述的反脊型铝镓砷波导；所述无啁啾双曲正割脉冲中心波长为4.9μm，半峰全宽为120fs，峰值功率为900W，随机噪声系数为0.0001；

产生在-40dB水平下，从2.2到14.5μm的超过2.7个倍频程的中红外超连续谱，在整个频谱范围内的一阶相干度为1；

获得幅值稳定间隔相等的频率梳。